[发明专利]一种微米孔通孔内壁质量的无损检测方法

权利要求书

1.一种微米孔通孔内壁质量的无损检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1. 获取待测微米孔样件；

S2. 制备检测装置：

S21.将待测微米孔样件固定于电解池中间，往电解池中注入电解质溶液；微米孔样件将电解池中的电解质溶液分成两部分，两部分的电解质溶液只能通过微米孔样件的通孔实现互通；

S22. 将直流电源的正负极电极分别插入微米孔样件两侧的电解质溶液中；电极与电解池外部的直流电源、电流检测仪串联连接；当直流电源施加电压后，正负电极之间通过微米孔形成一个离子电流通路；

S23. 在电解池中设置推进装置，在推进装置上通过夹持装置夹设有探针，当推动推进装置时，所述的探针沿待测微米孔的中轴线方向推进并穿过待测微米孔；

S3. 推动推进装置，使探针沿待测微米孔的中轴线方向推进，记录探针进入待测微米孔内时阻塞电流的变化；

S4. 根据阻塞电流信号的变化转换为待测微米孔孔壁的形貌，进行质量分析检测。

2.根据权利要求1所述的一种微米孔通孔内壁质量的无损检测方法，其特征在于，所述的微米孔为通孔。

3.根据权利要求1所述的一种微米孔通孔内壁质量的无损检测方法，其特征在于，所述的探针为绝缘材料。

4.根据权利要求3所述的一种微米孔通孔内壁质量的无损检测方法，其特征在于，所述的探针的直径值为所述微米孔直径值的10%~70%。

5.根据权利要求4所述的一种微米孔通孔内壁质量的无损检测方法，其特征在于，所述的探针的长度值为所述微米孔长度值的110%~300%。

6.根据权利要求1至5任一项所述的一种微米孔通孔内壁质量的无损检测方法，其特征在于，所述的电极为石墨烯电极、Cu及其电阻率低的合金、Ag及其电阻率低的合金。