[发明专利]一种具有在线监测功能的真空设备传动辊

说明书

本发明公开了一种具有在线监测功能的真空设备传动辊，包括驱动装置、真空腔体、至少一组传动辊单元和监测装置；所述传动辊单元转动连接在所述真空腔体内，所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置传动连接，所述传动辊单元的输出端与监测装置连接。本发明通过在真空设备传动辊的每一个传动辊单元的输出端均与监测装置连接，可以直接监测每一传动辊单元的工作状态，当某一传动辊单元发生故障时，监测装置可以准确的监测并发现是哪个传动辊单元发生故障，可以实现快速排查，确保对设备及时采取应对措施，避免因故障造成更大损失。本发明应用真空设备技术领域。

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，特别是涉及一种具有在线监测功能的真空设备传动辊。

背景技术

真空设备被广泛应用于现代化工业生产，例如物理气相沉积技术、化学气相沉积技术、气相运输沉积技术和等离子体表面处理技术等工业生产领域。大多数真空设备和其他设备构成自动化或半自动化生产线，真空设备传动辊失效的在线监测对于生产线的正常运行具有重要意义。传动辊是真空设备主要的传动方式之一，其运行状态在线监测尤为重要。

真空设备目前主要通过以下一种或多种方式监测传动辊：1.监测传动辊的动力输入装置(例如电动机等)的工作状态；2.监测传动件(例如同步轮、同步带等)的工作状态；3.监测传动辊输入端连接件(例如磁流体密封传动装置、联轴器等)的工作状态；4.监测真空设备所加工的工件的位置。以上方法均是通过监测传动辊中某个零部件的工作状态或者通过监测真空设备所加工工件的位置判断传动辊工作状态，不能完整地反应整个传动辊的工作状态，可靠性偏低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有在线监测功能的真空设备传动辊，可以监测每一传动辊的工作状态，并及时给出传动辊失效报警，确保对设备及时采取应对措施，避免因故障造成更大损失。

本发明所采用的技术方案是：一种具有在线监测功能的真空设备传动辊，包括驱动装置、真空腔体、至少一组传动辊单元和监测装置；所述传动辊单元转动连接在所述真空腔体内，所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置传动连接，所述传动辊单元的输出端与监测装置连接；

所述传动辊单元包括传动辊、第一磁流体密封传动装置和第二磁流体密封传动装置，所述传动辊的一端通过第一联轴器和第一磁流体密封传动装置的输出轴相接，另一端通过第二联轴器和第二磁流体密封传动装置的输入轴相接。

进一步优化，若干所述传动辊单元平行排列并转动连接在所述真空腔体内，相邻所述传动辊单元之间通过传动件同步转动，其中一个所述传动辊单元的输入端和所述驱动装置传动连接，每一所述传动辊单元的输出端均与监测装置连接。

进一步优化，所述传动件包括第一同步轮、第二同步轮和同步带，所述第一同步轮和第二同步轮固定连接在所述第一磁流体密封传动装置的输入轴上，所述第一同步轮位于第二同步轮的外侧，相邻的两个所述第一磁流体密封传动装置上的第一同步轮或第二同步轮通过所述同步带传动相接。

进一步优化，所述监测装置包括若干监测单元，每一所述第二磁流体密封传动装置的输出轴均对应连接有所述监测单元。

进一步优化，每一所述监测单元均与报警装置电性连接。

进一步优化，所述驱动装置通过传动带和第一同步轮或第二同步轮传动连接。

本发明的有益效果：本发明通过在真空设备传动辊的每一个传动辊单元的输出端均与监测装置连接，可以直接监测每一传动辊单元的工作状态，当某一传动辊单元发生故障时，监测装置可以准确的监测并发现是哪个传动辊单元发生故障，可以实现快速排查，确保对设备及时采取应对措施，避免因故障造成更大损失。

附图说明

下面结合附图和实施方式对本发明进一步说明。

图1是本实施例的结构示意图；