[发明专利]一种适用于浮法工艺的高耐酸性无碱铝硼硅酸盐玻璃及其制备方法与应用

说明书

本发明公开了一种适用于浮法工艺的高耐酸性无碱铝硼硅酸盐玻璃及其制备方法与应用。该玻璃以氧化物摩尔百分比计，组成如下：64～71％SiO₂，11～13.5％Al₂O₃，6～8％B₂O₃，4～6.4％MgO，3～4.8％CaO，3～4.8％SrO，0～3.2％ZnO，0～1％CeO₂，0～1％Yb₂O₃，各氧化物摩尔百分比之和满足100％。本发明提供的高耐酸性最优值为(HF‑10vol％，20℃，20min)为2.54mg/cm²的玻璃，且具有硬度大、应变点高、弹性模量高、适用于浮法生产工艺的优点，可用于薄膜晶体管液晶显示器的玻璃基板。

技术领域

本发明属于玻璃技术领域，特别涉及一种适用于浮法工艺的高耐酸性无碱铝硼硅酸盐玻璃及其制备方法与应用。

背景技术

基板玻璃是TFT-LCD的关键基础材料，在TFT-LCD显示系统中起到固定液晶分子，制造控制点的功能，其性能很大程度上决定了TFT-LCD产品性能好坏。因此TFT-LCD显示系统对基板玻璃有着极高的要求，其性能必须完美契合TFT-LCD的需求。

美国和日本两个国家在TFT-LCD基板玻璃领域的研究一直处于领先地位。国内的基板玻璃行业起步较晚，国内显示面板已拥有较完整的生产线，但高世代基板玻璃需求均依靠进口，所以TFT-LCD基板玻璃的研究与发展亟待解决。

浮法生产工艺在是目前电子基板玻璃生产中一种非常重要的生产方法，具有以下优点：生产出的玻璃质量好，产量高，品种多；成型玻璃时不需要克服玻璃自身重力，能充分发挥玻璃表面张力的作用，玻璃温度带横向均匀，可以比较容易地生产特薄和特厚的玻璃。

浮法生产工艺流程如下：玻璃原料高温熔融至1620℃到1650℃；加入澄清剂后开始澄清冷却至1400℃～1500℃，随后玻璃液流入锡槽，并漂浮在相对密度较大的锡液表面，在玻璃液自身重力、表面张力以及过渡辊台拉力的共同作用下，玻璃液在锡液面上铺开、摊平、拉薄(积厚)，成型为上下表面平整的玻璃带；在锡槽尾部外过渡辊台及与之连接的退火窑传动辊的牵引下被引上过渡辊台；最后传送到退火炉，在700℃～750℃下退火，经过裁剪后得到浮法玻璃产品。

在TFT-LCD器件的制备过程中，基板玻璃还会经历各种各样的化学处理，包括酸性的腐蚀。耐酸性作为一项重要性能指标，对TFT-LCD基板玻璃的性能有着相当重要的影响。一般要求HF腐蚀失重比≦6.0mg/cm²(10vol％HF，20℃，20min)，康宁公司新一代EXG slim耐酸性为5.18mg/cm²。