[发明专利]一种半导体测试装置

说明书

本发明涉及一种半导体测试装置，包括测试箱、底板、中间箱、相机仓、PIB板，中间箱顶部设有开口，中间箱顶部设有安装座，安装座为镂空板，安装座上方设有环形的探针座，探针座与安装座之间设有弹性件，弹性件对探针座施加有向上的弹力，探针座顶部设有环形的探针板，探针板上设有向上伸出探针板的弹性探针，探针板与探针座同轴，安装座上设有与探针座同轴的观察孔，相机仓顶部设有正对观察孔的拍摄孔，PIB板与弹性探针之间通过等长的线缆电性连接。本发明通过PIB板连接弹性探针和检测箱，便于连线焊接，信号传输过程中损耗少，防止信号干扰，弹性探针便于可靠的电性连接，相机仓和拍摄孔便于观察设备对接情况。

技术领域

本发明涉及电子测试仪器技术领域，特别涉及一种半导体测试装置。

背景技术

由于半导体通常体积小，因此在测试时需要通过转接装置连接检测仪器和被检测仪器，现有的转接装置在装配时难以精确装配，导致检测时易出现检测误差。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明的目的是提供一种半导体测试装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种半导体测试装置，包括测试箱、设置于所述测试箱顶部的底板、设置于所述底板上方的中间箱、一端伸入所述中间箱内的相机仓、设置在所述底板和测试箱之间的PIB板，所述中间箱顶部设有开口，所述中间箱顶部设有安装座，所述安装座为镂空板，所述安装座上方设有环形的探针座，所述探针座与所述安装座之间设有弹性件，所述弹性件对所述探针座施加有向上的弹力，所述探针座顶部设有环形的探针板，所述探针板上设有向上伸出探针板的弹性探针，所述探针板与所述探针座同轴，所述安装座上设有与所述探针座同轴的观察孔，所述相机仓顶部设有正对所述观察孔的拍摄孔，所述PIB板与所述弹性探针之间通过等长的线缆电性连接。

上述设计中通过PIB板连接弹性探针和检测箱，便于连线焊接，信号传输过程中损耗少，防止信号干扰，弹性探针便于可靠的电性连接，相机仓和拍摄孔便于观察设备对接情况。

作为本设计的进一步改进，所述安装座上设有竖直的导向销，所述探针座与所述导向销配合并沿所述导向销升降，所述导向销绕所述观察孔轴线作360度环形阵列分布。导向销便于对探针座导向，便于对接时便于对回缩的探针座进行导向，防止探针座偏移。

作为本设计的进一步改进，所述测试箱侧面设有定位座，所述定位座上设有竖直的外定位销，所述外定位销与所述底座上的外定位孔配合，所述测试箱顶部设有内定位销，所述内定位销与所述PIB板配合。外定位销和内定位销能够便于底板与测试箱精确定位，PIB板与测试箱精确对接。

作为本设计的进一步改进，所述底板侧面设有拆装把手，便于将拆装本设备。

作为本设计的进一步改进，所述探针座侧面设有螺旋卡槽，所述螺栓卡槽一端延伸至所述探针座顶面，将本设计与测试设备对接更加方便。

作为本设计的进一步改进，所述弹性件包括引导柱、套在所述引导柱上的弹簧，所述弹簧顶部抵止所述探针座，所述弹簧底部抵止所述安装座，所述引导柱顶部与所述探针座连接，所述引导柱底部与所述安装座配合并沿所述安装座升降。采用弹簧和引导柱组成弹性件，结构简单，具有良好的导向性能。

作为本设计的进一步改进，所述底板与所述测试箱顶部之间设有X形定位板，所述X形定位板四个角各设有一个与所述外定位销配合的外基准定位孔，所述X形定位板中部设有与所述内定位销配合的内基准定位孔。X形定位板能够为外定销以及内定位销提供共同的定位基准，安装时保证PIB板和测试箱精确对接，运输过程中保证PIB板与测试箱对接精度的稳定。

本发明的有益效果是：本发明通过PIB板连接弹性探针和检测箱，便于连线焊接，信号传输过程中损耗少，防止信号干扰，弹性探针便于可靠的电性连接，相机仓和拍摄孔便于观察设备对接情况。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。