[发明专利]一种具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器

权利要求书

1.一种具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其包括：

半导体衬底，所述半导体衬底内部设置有光电二极管阵列；

第一保护层，所述第一保护层位于所述光电二极管阵列的上方；

第一金属格栅，所述第一金属格栅形成于所述第一保护层上，并且具有多个与所述光电二极管阵列中每个光电二极管一一垂直对准的限定腔；

彩色滤色片阵列，每个彩色滤色片形成在一个限定腔中；以及

挡光格栅，所述挡光格栅设置在所述第一保护层中，且其顶部与所述第一金属格栅的底部抵接。

2.根据权利要求1所述的具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其特征在于，所述挡光格栅包括第二金属格栅和/或第一低折射率格栅，所述第一低折射率格栅的折射率小于所述第一保护层的折射率。

3.根据权利要求2所述的具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其特征在于，所述第一金属格栅用于将扩散至相邻像素区域的入射光反射至原像素区域；所述第二金属格栅用于吸收扩散至相邻像素区域的入射光。

4.根据权利要求3所述的具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其特征在于，所述第一金属格栅为铝格栅，所述第二金属格栅为钨格栅。

5.根据权利要求1所述的具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其特征在于，所述挡光格栅的底部位于所述第一保护层的内部，且与所述第一保护层的下表面存在间隙。

6.根据权利要求1所述的具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其特征在于，所述第一金属格栅外表面包覆有保护层。

7.根据权利要求6所述的具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其特征在于，所述保护层包括低折射率材料层，所述低折射率材料层的折射率小于每个彩色滤色片的折射率。

8.根据权利要求1所述的具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其特征在于，所述第一金属格栅上形成有第二低折射率格栅，所述第二低折射率格栅的折射率小于每个彩色滤色片的折射率。

9.根据权利要求1所述的具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其特征在于，所述第一金属格栅的高度小于所述彩色滤色片阵列的高度。

10.根据权利要求1所述的具有嵌入式彩色滤色片阵列的图像传感器，其特征在于，所述半导体衬底与所述第一保护层之间设置有第二保护层，所述第二保护层与所述第一保护层之间设置有高介电层。