[发明专利]一种带有防打火装置的离子源

权利要求书

1.一种带有防打火装置的离子源，该离子源的防打火装置包括：高压屏蔽外壳(C)；

其中所述高压屏蔽外壳(C)固定在离子源头部；

所述高压屏蔽外壳(C)包括：第一箱体(1)和第二箱体(2)；第一箱体(1)与第二箱体(2)固定连接，并且互相畅通，形成L型箱体结构的高压屏蔽外壳(C)，并且在高压屏蔽外壳(C)底部为敞开设置；

所述第二箱体(2)顶部设置有U型排列的贯穿圆孔，且所述贯穿圆孔排列的成U型的开口对准第一箱体(1)；

在所述贯穿圆孔排列成的U型内部设置有长方形贯穿圆孔。

2.根据权利要求1一种带有防打火装置的离子源，其特征在于，所述第一箱体(1)顶部设置有开口。

3.根据权利要求1一种带有防打火装置的离子源，其特征在于，所述高压屏蔽外壳(C)材质为不锈钢。

4.根据权利要求1一种带有防打火装置的离子源，其特征在于，所述离子源防打火装置还包括：防打火罩；

其中所述防打火罩包括：外防打火罩(A)和内防打火罩(B)；所述内防打火罩(B)固定在离子源中部，外防打火罩(A)固定在离子源头部；

其中所述外防打火罩(A)包括：圆筒(8)和锥形筒(9)；所述锥形筒(9)的小径端直径小于圆筒(8)的直径，并且锥形筒(9)的小径端与圆筒(8)固定连接；所述锥形筒(9)的大径端设置有法兰；

其中所述内防打火罩(B)包括：第一防护罩(3)、第二防护罩(4)和第三防护罩(5)；

所述第二防护罩(4)固定在第一防护罩(3)上，所述第三防护罩(5)固定在第二防护罩(4)上。

5.根据权利要求4所述一种带有防打火装置的离子源，其特征在于，所述第一防护罩(3)为圆筒型结构，并且在所述第一防护罩(3)底部设置有长方形贯穿孔。

6.根据权利要求4所述一种带有防打火装置的离子源，其特征在于，所述第二防护罩(4)为管型结构；且所述防护罩一端设置有法兰板。

7.根据权利要求4所述一种带有防打火装置的离子源，其特征在于，所述第三防护罩(5)包括：第一圆管(6)和第二圆管(7)；

所述第一圆管(6)与第二圆管(7)轴向固定连接；并且所述第一圆管(6)外径小于第二圆管(7)外径；

所述第二圆管(7)的一半管壁材质为石墨，另外一半管壁材质为不锈钢；并且所述第二圆管(7)两种材质的管壁分界线与第二圆管(7)轴线平行。

8.根据权利要求1一种带有防打火装置的离子源，其特征在于，所述离子源防打火装置还包括：PIG板(10)；

其中所述PIG板(10)通过电极支架(11)固定在离子源头部两侧；

所述PIG板(10)为槽钢型结构，并且PIG板(10)的一侧支脚为弧形。

9.根据权利要求8所述一种带有防打火装置的离子源，其特征在于，所述PIG板(10)的数量为2。