[发明专利]一种用于洁净室的防污染扩散系统

说明书

本发明提供了一种用于洁净室的防污染扩散系统，可以防止洁净室的污染物扩散，包括洁净室，所述洁净室的上端设有上静压箱，所述洁净室的下端设有下静压箱，其特征在于：所述洁净室、上静压箱以及下静压箱的外侧分别设有双层墙结构，所述双层墙结构包括外墙体和内墙体，所述外墙体连接送风管，所述送风管连接送风装置，所述送风装置向所述双层墙结构送风使得所述双层墙结构内部维持微正压。

技术领域

本发明涉及洁净室技术领域，具体为一种用于洁净室的防污染扩散系统。

背景技术

在洁净室内，由于工艺需要，部分设备会生产有毒有害等危险气体，传统的防止污染物扩散的方法是采用隔墙以及在污染区采用负压进行隔离，而普通的隔墙难以保证污染物不通过缝隙泄漏扩散，而使用负压进行隔离虽然能使得洁净室内的污染不外泄，然而却因为负压的存在导致洁净室外的污染会因为压差进入洁净室内，造成对洁净室的污染。

发明内容

针对现有技术中洁净室无法确保洁净室污染物不扩散以及洁净室会被外界污染的问题，本发明提供了一种用于洁净室的防污染扩散系统，可以防止洁净室的污染物扩散。

其技术方案是这样的：一种用于洁净室的防污染扩散系统，包括洁净室，所述洁净室的上端设有上静压箱，所述洁净室的下端设有下静压箱，其特征在于：所述洁净室、上静压箱以及下静压箱的外侧分别设有双层墙结构，所述双层墙结构包括外墙体和内墙体，所述外墙体连接送风管，所述送风管连接送风装置，所述送风装置向所述双层墙结构送风使得所述双层墙结构内部维持微正压。

进一步的，所述上静压箱与所述洁净室外侧的双层墙结构相连通，所述洁净室与所述下静压箱外侧的双层墙结构内设有隔断。

进一步的，所述上静压箱与所述洁净室外侧的外墙体连接上送风管，所述上送风管连接上送风装置，所述下静压箱外侧的外墙体连接下送风管，所述下送风管连接下送风装置。

进一步的，所述上送风管上设有上侧气动控制阀，所述下送风管上设有下侧气动控制阀。

进一步的，所述上静压箱与所述洁净室外侧的双层墙结构内设有上压力传感器，所述下静压箱外侧的双层墙结构内设有下压力传感器。

进一步的，所述上侧气动控制阀、下侧气动控制阀、上压力传感器、下压力传感器、上送风装置、下送风装置分别与PLC装置电控连接。

本发明在产生污染物的洁净室以及上、下静压箱的外部设置双层墙结构，通过连接送风装置向双层墙结构内部送风使得双层墙内部维持微正压，使得双层墙结构内的压力大于洁净室以及上、下静压箱的压力，避免污染物从缝隙中向外扩散，可以防止洁净室的污染物向外扩散，同时因为双层墙内维持微正压，压差的存在可以防止洁净室被外界污染，由于洁净室的送风系统是从上向下送风，同时在洁净室与下静压箱的双侧墙体之间设置隔断，万一发生污染物泄漏，污染物从洁净室向下吹向下静压箱并被控制在下静压箱外侧的双层墙结构中，可以防止污染物向上扩散。

附图说明

图1为本发明的第一种实施例的用于洁净室的防污染扩散系统的示意图；

图2为本发明的第二种实施例的用于洁净室的防污染扩散系统的示意图。

具体实施方式