[发明专利]电离源及包括该电离源的二次离子质谱仪有效
| 申请号： | 201810770703.0 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109256319B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 崔明哲;李相珠;崔彰玟;朴恩智;金廷桓;白知映 | 申请（专利权）人： | 韩国基础科学支持研究院 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/34;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电离 包括 二次 离子 质谱仪 | ||
1.一种电离源，其中，包括：
喷嘴电极，供应有气体，并包括第一喷嘴电极和第二喷嘴电极；
线状电极，布置在所述第一喷嘴电极和第二喷嘴电极之间，释放将所述喷嘴电极内的所述气体离子化的电子；
接地电极，布置在所述喷嘴电极外部；以及
提取电极，布置在所述接地电极和所述喷嘴电极之间，将离子化的所述气体沿着所述接地电极的方向提取，
其中，所述提取电极包括：提取环，与所述喷嘴电极平行；以及，提取尾，连接于所述提取环内，从所述提取环朝着所述喷嘴电极的方向延伸，
所述第一喷嘴电极布置在所述线状电极的一侧，并具有第一盖尾，
所述第二喷嘴电极布置在所述线状电极的另一侧，并具有与所述第一盖尾相向的第二盖尾。
2.如权利要求1所述的电离源，其中，
所述提取尾从所述提取环以150度至170度的角度形成连接。
3.如权利要求1所述的电离源，其中，
所述提取尾与所述喷嘴电极之间的距离等于所述提取环与所述喷嘴电极之间的距离。
4.如权利要求1所述的电离源，其中，
所述第一盖尾及所述第二盖尾以4mm至8mm的距离相隔。
5.如权利要求1所述的电离源，其中，
所述第一盖尾及第二盖尾在彼此相向的方向凸出地形成弧度。
6.如权利要求1所述的电离源，其中，
所述第一盖尾及第二盖尾分别具有2mm至4mm的厚度。
7.如权利要求1所述的电离源，其中，
所述第一喷嘴电极及第二喷嘴电极具有与所述第一盖尾及第二盖尾相同的直径。
8.如权利要求1所述的电离源，其中，还包括：
盖环，布置在所述第一喷嘴电极和第二喷嘴电极之间，并围绕所述线状电极。
9.如权利要求1所述的电离源，其中，
当所述喷嘴电极带电10000V时，所述线状电极带电9900V，所述提取电极带电9000V。
10.一种二次离子质谱仪，包括：
气体供应部；
电离源，将从所述气体供应部提供的气体离子化而生成一次离子，向试料提供所述一次离子；
质量分析部，检测由于所述一次离子而从所述试料生成的二次离子来分析所述试料的质量，
其中，所述电离源包括：
喷嘴电极，供应有所述气体，并包括第一喷嘴电极和第二喷嘴电极；
线状电极，布置在所述第一喷嘴电极和第二喷嘴电极之间，释放将所述喷嘴电极内的所述气体离子化的电子；
接地电极，布置在所述喷嘴电极外部；以及
提取电极，布置在所述接地电极和所述喷嘴电极之间，将离子化的所述气体沿着所述接地电极的方向提取，
所述第一喷嘴电极布置在所述线状电极的一侧，并具有第一盖尾，
所述第二喷嘴电极布置在所述线状电极的另一侧，并具有与所述第一盖尾相向的第二盖尾，
所述提取电极包括：提取环，与所述喷嘴电极平行；以及，提取尾，连接于所述提取环内，从所述提取环朝着所述喷嘴电极的方向延伸。
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