[发明专利]改良型太阳能电池片扩散炉

说明书

本发明涉及太阳能电池扩散技术领域，尤其涉及一种改良型太阳能电池片扩散炉，将硅片槽倾斜设置后，硅片能够倾斜设置在炉管内，炉尾端的进气口放在炉尾端的上部，抽气口仍然放在炉的下部，硅片沿气流方向倾斜，优化扩散炉管内气场氛围，提高了携源氮气与硅片中间区域的接触，减小硅片中间方阻和边缘方阻的差值，改善扩散方阻的片内均匀性。

技术领域

本发明涉及太阳能电池扩散技术领域，尤其涉及一种改良型太阳能电池片扩散炉。

背景技术

扩散制作P-N结是晶硅太阳能电池的核心，是电池质量好坏的关键之一。对于扩散工序而言，确保高效电池的高产能面临的最大问题在于如何保障扩散的均匀性。扩散较均匀性好的电池，其后续工艺参数的可控性高，可以较好地保证电池性能和参数的稳定性。

目前扩散炉管内的气场主要是片子表面垂直与气体流动方向(如图1所示)，携源氮气与硅片边缘的接触远远大于硅片中间，这使得片子中间方阻高于边缘方阻，这使得片子方阻的均匀性变差。当中间方阻过高时，会导致后续烧结工序烧不透，造成EL黑斑异常。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术中携源氮气与硅片表面接触时，携源氮气与硅片边缘的接触远远大于硅片中间的技术问题，本发明提供一种改良型太阳能电池片扩散炉。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种改良型太阳能电池片扩散炉，包括炉管、石英舟、源瓶、源瓶进气管和源瓶出气管，石英舟设置在炉管内，炉管的炉口处设置有炉盖，源瓶出气管的一端和源瓶内部相连通，源瓶出气管的另一端从炉管尾端的上部通入炉管内部，源瓶进气管的一端和源瓶内部相连通，源瓶进气管的另一端通入氮气，炉管内的底部设置有水平的出气管，出气管从炉管尾端的下部穿出，所述石英舟上开设有多个均匀的硅片槽，所述硅片槽倾斜设置，硅片槽的槽口相对于硅片槽的底部更靠近炉管尾端。

进一步的，所述硅片槽的槽壁和石英舟底面的夹角为α，α范围为85°＜α＜90°。倾角太大容易使得错过硅片顶部的气体较多，影响扩散效果，而且占用炉管体积较大，倾角太小不利于气体向硅片中心运动。

作为优选，所述硅片槽的槽壁和石英舟底面的夹角α为87°。

本发明的有益效果是，本发明的改良型太阳能电池片扩散炉，将硅片槽倾斜设置后，硅片能够倾斜设置在炉管内，炉尾端的进气口放在炉尾端的上部，抽气口仍然放在炉的下部，硅片沿气流方向倾斜，优化扩散炉管内气场氛围，提高了携源氮气与硅片中间区域的接触，减小硅片中间方阻和边缘方阻的差值，改善扩散方阻的片内均匀性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是现有技术中扩散通源装置的结构示意图。

图2是本发明最优实施例的结构示意图。。

图中：1、炉管，11、炉盖，12、出气管，2、石英舟，21、硅片槽，3、源瓶，31、源瓶进气管，311、源瓶进气阀，32、源瓶出气管，321、源瓶出气阀，4、硅片。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。