[发明专利]一种双晶向多晶硅铸锭及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201810769506.7 申请日: 2018-07-13
公开(公告)号: CN109097827A 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 余学功;张放;杨德仁 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/06
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 胡红娟
地址: 310013 浙江*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 多晶硅铸锭 籽晶层 晶向 双晶 单晶籽晶 硅料 晶面 位错 坩埚 制备 对称 融化 熔化 逆时针旋转 定向凝固 加热控制 相邻间隔 单晶棒 顺时针 籽晶 切割 诱导 摆放 铺设 生长
【权利要求书】:

1.一种双晶向多晶硅铸锭的制备方法,包括如下步骤:

(1)将<100>晶向单晶棒的标准{100}晶面顺时针旋转10~30°,沿着旋转后的晶面切割,得到长方体形的单晶籽晶I;将<100>晶向单晶棒的标准{100}晶面逆时针旋转相同的角度,沿着旋转后的晶面切割,得到与单晶籽晶I形状相同的单晶籽晶II;单晶籽晶I与单晶籽晶II相邻间隔、紧密排列形成籽晶层,铺设在坩埚底部;

(2)将硅料置于籽晶层上,并将内装籽晶层和硅料的坩埚装入多晶硅铸锭炉内,将多晶硅铸锭炉加热至硅料完全熔化而籽晶层部分熔化;

(3)当熔化至预设高度时,通过降温来诱导部分熔化的籽晶层生长,最后通过定向凝固形成所述双晶向多晶硅铸锭。

2.如权利要求1所述的双晶向多晶硅铸锭的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述单晶籽晶I的高度为20~30mm。

3.如权利要求1所述的双晶向多晶硅铸锭的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述籽晶层的上平面与坩埚底面平行。

4.如权利要求1所述的双晶向多晶硅铸锭的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述多晶硅铸锭炉的加热温度为1450~1500℃,加热时间为4~6h。

5.如权利要求1所述的双晶向多晶硅铸锭的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,所述部分熔化的籽晶层厚度占籽晶层总厚度的50%~70%。

6.如权利要求1所述的双晶向多晶硅铸锭的制备方法,其特征在于,步骤(3)中,所述降温过程通过提升隔热笼实现。

7.如权利要求6所述的双晶向多晶硅铸锭的制备方法,其特征在于,所述隔热笼的提升速度为10~20mm/h。

8.一种双晶向多晶硅铸锭,其特征在于,所述的双晶向多晶硅铸锭为按照权利要求1~7任一项所述的制备方法制得。

9.如权利要求8所述的双晶向多晶硅铸锭,其特征在于,所述的多晶硅铸锭的上部为<100>和<221>双晶向。

10.如权利要求8所述的双晶向多晶硅铸锭,其特征在于,所述多晶硅铸锭上部的位错密度低于5×104/cm2

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学,未经浙江大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810769506.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top