[发明专利]一种基于氧化钼微米带/氧化镍纳米材料异质结构的紫外/可见光响应器件在审
申请号: | 201810761882.1 | 申请日: | 2018-07-12 |
公开(公告)号: | CN109087960A | 公开(公告)日: | 2018-12-25 |
发明(设计)人: | 于乃森;陈向丰;齐岩;赵海燕;苑青;董斌 | 申请(专利权)人: | 大连民族大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/109;H01L31/18;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 大连一通专利代理事务所(普通合伙) 21233 | 代理人: | 郭丽华 |
地址: | 116000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微米带 氧化钼 纳米材料 生长 制备 可见光响应 异质结构 光响应 胶固定 氧化镍 衬底 导电 纳米片状结构 低温水溶液 可见光波段 浸入 镍盐溶液 片状结构 器件结构 热氧化法 单根 输运 | ||
1.一种基于氧化钼微米带/氧化镍纳米材料异质结构的紫外/可见光响应器件,其特征在于:其是由Si衬底,SiO2绝缘层、氧化钼微米带、NiO纳米片状结构以及分别与氧化钼微米带和NiO纳米片状结构接触的Ag胶组成。
2.根据权利要求1所述的基于基于氧化钼微米带/NiO纳米材料异质结构的紫外/可见光响应器件,其特征在于:所述器件结构自下而上依次为Si衬底、SiO2绝缘层、氧化钼微米带、NiO纳米片状结构以及分别与氧化钼微米带和NiO纳米片状结构接触的Ag胶组成。
3.权利要求1的基于基于氧化钼微米带/NiO纳米结构的紫外/可见光响应器件的制备方法,其特征在于:
①以Si片为衬底,首先采用热氧化法生长SiO2绝缘层薄膜,其厚度为300nm;
②采用气相输运法生长氧化钼微米带,称取10克钼酸铵(NH4)6MO7O24·4H2O放在氧化铝坩埚,置于加热炉中加热,以60℃/分钟升温至1250℃,并保温1小时。生长中保持炉门有3-4毫米的自由空间,便于气流输运,最后在低温区域收集MoO3微米带,其长度为100-200μm;
③将步骤②得到的MoO3置于显微镜下,用镊子提取单根MoO3,置于步骤①中生长有SiO2薄膜的Si片表面,同时一端用导电Ag胶固定,将所得样品置于加热台,在150℃条件下加热15分钟使Ag胶固化;
④将0.62g乙酸镍溶于50ml乙醇,制得籽晶溶液;将表面有Ag胶固定的MoO3的Si衬底置于旋涂机上,将籽晶溶液滴于表面,静置5分钟按照2500转/分转速进行旋涂,旋涂时间为5min,随后将生长有籽晶的衬底置于快速加热台,在200℃条件下快速加热15分钟后,随后自然冷却到室温;
⑤将0.85g硝酸镍和0.70g六次甲基四胺溶于100ml水,快速搅拌均匀,制得混合溶液;
⑥将生长有籽晶的有Ag胶固定的MoO3的Si衬底浸入步骤⑤混合溶液中,于90℃温度反应5小时,反应结束取出所得Si衬底并用水洗涤,晾干;
⑦将步骤⑥得到的样品置于显微镜下,在生长有NiO材料一端,用导电Ag胶固定,最后将所得样品置于加热台,在150℃条件下加热15分钟使Ag胶固化。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的