[发明专利]一种光控神经突触仿生电子器件及其制备方法有效
申请号: | 201810758762.6 | 申请日: | 2018-07-11 |
公开(公告)号: | CN109037388B | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 王燕;韩素婷;周晔;陈锦锐;王展鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | H01L31/113 | 分类号: | H01L31/113;H01L31/0216;H01L31/0352;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 王永文;刘文求 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光控 神经 突触 仿生 电子器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种光控神经突触仿生电子器件,其特征在于,包括作为栅极的硅基底、从下至上依次设置在所述硅基底上的氧化物层、量子点层、聚合物层、半导体层以及金属薄膜顶电极,所述量子点层的材料为CsPbCl3、CsPbBr3和CsPbI3中的一种或多种,所述量子点层与所述聚合物层层叠形成浮栅层,所述金属薄膜顶电极包括源极和漏极,所述源极和漏极之间沟道的长为800-1200μm,所述源极和漏极之间沟道的宽为40-60μm,其中,所述沟道和所述浮栅层的栅极作为信号传输和调节模块。
2.根据权利要求1所述的光控神经突触仿生电子器件,其特征在于,所述氧化物层的材料为二氧化硅或氧化铝;和/或所述氧化物层的厚度为80-120nm。
3.根据权利要求1所述的光控神经突触仿生电子器件,其特征在于,所述聚合物层的材料为聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯和聚乙烯基吡啶中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的光控神经突触仿生电子器件,其特征在于,所述金属薄膜顶电极的材料为Al、Cu、Au或Pt中的一种。
5.一种光控神经突触仿生电子器件的制备方法,其特征在于,包括步骤:
提供一种量子点溶液和一种聚合物氯苯溶液;
在表面掺杂有氧化物层的硅片上沉积所述量子点溶液,形成量子点层,所述量子点层的材料为CsPbCl3、CsPbBr3和CsPbI3中的一种或多种;
在所述量子点层表面沉积所述聚合物氯苯溶液,形成聚合物层;
在所述聚合物层表面沉积半导体材料溶液,形成半导体层;
在所述半导体层表面两侧端分别沉积金属材料作为源极和漏极,制得光控神经突触仿生电子器件。
6.根据权利要求5所述的光控神经突触仿生电子器件的制备方法,其特征在于,所述量子点溶液的制备方法包括步骤:
将碳酸铯与十八烯以及油酸混合,加热至120-180℃至反应完全生成油酸铯溶液;
将卤化铅和十八烯混合,加热至100-140℃,然后再加入油胺和油酸,混合并加热至150-180℃,最后加入所述油酸铯溶液,反应5-10s后加入乙醇使生成的量子点沉淀;
将所述量子点沉淀分散在正己烷溶剂中,混合制得量子点溶液。
7.根据权利要求6所述的光控神经突触仿生电子器件的制备方法,其特征在于,所述最后加入所述油酸铯溶液,反应5-10s后加入乙醇使生成的量子点沉淀的步骤中,油酸铯与卤化铅的摩尔比为5-6:1。
8.根据权利要求5所述的光控神经突触仿生电子器件的制备方法,其特征在于,所述量子点溶液的浓度为0.05-1.0 mg/mL。
9.根据权利要求5所述的光控神经突触仿生电子器件的制备方法,其特征在于,所述在表面掺杂有氧化物层的硅片上沉积所述量子点溶液,形成量子点层的步骤包括:
将所述量子点溶液以1500-4000 rpm的转速在表面掺杂有氧化物层的硅片上旋涂35-45s,旋涂完后以80-120℃的温度退火50-70 min,制得量子点层。
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