[发明专利]一种微纳米石英晶体封装的封盖搬运柔性机械臂

权利要求书

1.一种微纳米石英晶体封装的封盖搬运柔性机械臂，其特征在于，包括背板、电机、凸轮机构、叠料检测机构和可调吸嘴机构，所述电机固定于背板的后端面上，所述凸轮机构包括凸轮、锁定块和回位簧，凸轮固定于背板的前端面上，与电机输出轴相连，锁定块设于凸轮下方，顶端安设第一凸轮导向器，与凸轮相接触，所述回位簧两端分别固定于背板和锁定块上，所述叠料检测机构固定于锁定块右侧面上，所述可调吸嘴机构固定于叠料检测机构的下方；所述叠料检测机构包括第一气缸、旋转式滚珠花键、纵向导轨和位移监测装置，所述第一气缸和旋转式滚珠花键均固定于所述背板上的支撑板上，第一气缸的输出轴与旋转式滚珠花键顶端通过连接件相联，所述纵向导轨顶端固定于背板上，所述位移监测装置包括第一滑块、第二滑块、监测块、拉簧和第一光纤传感器，所述第一、第二滑块均与纵向导轨相配置，上下对称设置，第一、第二滑块的左侧面与所述锁定块的右侧面相连，第一滑块的右侧端设有第二凸轮导向器，第二滑块的右侧端设有第三凸轮导向器，所述拉簧的两端分别固定于第一、第二滑块上，所述监测块设于旋转式滚珠花键上，第二凸轮导向器与监测块的顶面相接触，第三凸轮导向器与监测块的底面相接触，形成夹紧状态，所述第一光纤传感器固定于第二滑块上。

2.根据权利要求1所述的一种微纳米石英晶体封装的封盖搬运柔性机械臂，其特征在于，所述可调吸嘴机构包括第二气缸、固定板、吸嘴、调节旋杆，所述固定板顶部与所述旋转式滚珠花键底部相连，固定板底部设有左、右铰接座，所述吸嘴顶部穿设于铰接轴上，所述铰接轴两端通过轴承与左、右铰接座相铰接，所述第二气缸与铰接轴相联，所述调节旋杆中部设有连接孔，铰接轴的右侧端头与所述连接孔配置相连，调节旋杆旋转带动铰接轴转动，调节旋杆上设有接触螺丝，固定板上与接触螺丝对应的位置设有调节螺丝，所述调节螺丝上下旋动与接触螺丝抵接。

3.根据权利要求1所述的一种微纳米石英晶体封装的封盖搬运柔性机械臂，其特征在于，所述背板上设有第二光纤传感器，所述凸轮上设有原点孔，所述第二光纤传感器通过支架固定于背板上。

4.根据权利要求1所述的一种微纳米石英晶体封装的封盖搬运柔性机械臂，其特征在于，所述连接件为开有中心通孔的圆柱筒体结构，连接件顶部沿周向均匀间隔开有数个U形开口，其中两个相邻的U形开口之间的连接件设有平台，所述平台上设有螺孔，所述螺孔与锁紧螺钉相配置，数个U形开口处的连接件上设有连接孔，通过螺栓与所述旋转式滚珠花键相连。