[发明专利]制程配方监控方法及制程配方监控系统

说明书

一种制程配方监控方法，包括以下步骤：接收使用者设备的连线请求；接收使用者设备的回溯命令，包括以下步骤：判断使用者设备是否能执行回溯模式；进入锁定状态，以限制仅供使用者设备控制资料库与配方描述资料库；依据目标主版本资料的目标次配方项目与目标次配方数值，复原目前配方档中目前配方档中相对应的次配方项目与次配方数值；记录经回溯后的目前配方档中主版本版次资料与各次配方版本资料；存取经回溯后的目前配方档至资料库。此外，一种制程配方监控系统亦被提出。

技术领域

本发明是有关于一种制程配方监控方法与制程配方监控系统，且特别是有关于一种可弹性调整配方项目的监控方法与监控系统。

背景技术

随着制程技术的进步，制程产品的品质不仅取决于制程程式，机台状况的好坏与否也是其中关键的一环。机台能以特定的管控条件(control rule)设定达成特定机台生产特定产品的目的，于基板处理装置中，通常系以配方档来设定机台的制造流程与制造条件。然而，习用PLC控制的机台(使用者设备)的配方档系设定固定的管控条件给予单一产品生产使用，故缺乏弹性，无法针对制程产品特性加入或修改新的控制规则及参数调整。此外，机台配方的控管通常在人机界面(使用者设备)所提供的功能限制下，管制范围并不弹性，一旦输入错误的制程控制条件，并无回复机制让机台复原到先前某一个特定版本的配方档。再者，每个版本的配方档内包含数个配方项目及其相应的配方数值，于目前的机制之下，并无回复机制让配方档在某一个版本中，针对某一个特定配方项目及其相对应的配方数值单独进行复原，更甚者，若于不同版本的配方档的配方项目若有增减而有不一致的状况，也无法较为弹性地供操作者回复所需求的配方档。

因此，如何改良并能提供一种『制程配方监控方法及制程配方监控系统』来避免上述所遭遇到的问题，系业界所亟待解决的课题。

发明内容

本发明的一目的在于，可供使用者回溯至所需求的特定配方档，提升制程配方使用上的弹性。

本发明的一实施例提出一种制程配方能被执行监控方法，包括以下步骤：接收一使用者设备的连线请求；以及接收使用者设备的一回溯命令，包括以下步骤：判断是否能执行一回溯模式；进入一锁定状态，以限制仅供使用者设备控制一资料库与一配方描述资料库，其中资料库中一目前配方档包含一主版本版次资料与数个次配方资料，各次配方资料包含一次配方项目、一次配方版本资料与一次配方数值，配方描述资料库包含一配方规则描述档，依据配方规则描述档执行目前配方档；依据一目标主版本资料的数个目标次配方项目与数个目标次配方数值，复原目前配方档中相对应的次配方项目与次配方数值；记录经回溯后的目前配方档中主版本版次资料与各次配方版本资料；及存取经回溯后的目前配方档至资料库。

本发明的一实施例提出一种制程配方监控系统，制程配方监控系统包括一资料处理单元以及一配方资料单元。资料处理单元系接收一使用者设备的连线请求。配方资料单元连接于资料处理单元，配方资料单元包含一资料库、一配方描述资料库与一回溯模组，资料库包含一目前配方档，目前配方档包含一主版本版次资料与数个次配方资料，各次配方资料包含一次配方项目、一次配方版本资料与一次配方数值，配方描述资料库包含一配方规则描述档，依据配方规则描述档执行目前配方档。资料处理单元接收一回溯命令时，资料处理单元判断是否能执行一回溯模式，若是，资料处理单元对配方资料单元进入一锁定状态，以限制使用者设备控制资料库与配方描述资料库。依据一目标主版本资料的数个目标次配方项目与数个目标次配方数值，回溯模组复原目前配方档中相对应的次配方项目与次配方数值，且资料处理单元记录经回溯后的目前配方档中主版本版次资料与各次配方版本资料，并存取经回溯后的目前配方档至资料库。

基于上述，在本发明的制程配方监控方法与制程配方监控系统中，可将目前配方档回溯到先前某一个特定版本的配方档，以复原目前配方档中特定或全部的次配方项目与相对应的次配方数值，藉此提升制程配方使用上的弹性。