[发明专利]一种抖动控制器(Dither Controller)在审
| 申请号： | 201810754735.1 | 申请日： | 2018-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN110718435A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 马少志 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/302;H01J37/141 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 信号控制板 伺服驱动器 开关电源 抖动控制器 半导体制造领域 电流反馈信号 模拟信号控制 直流工作电压 外部控制器 工作电压 输出电流 输入电源 控制器 外接 市电 采集 交换 | ||
【权利要求书】：
1.一种抖动控制器(Dither Controller)，主要包括：AC/DC模块(1)、开关电源(2)、信号控制板(3)、伺服驱动器(4)。该控制器需外接220VAC市电，为AC/DC模块(1)和开关电源(2)提供输入电源；AC/DC模块(1)为伺服驱动器(4)提供直流工作电压；开关电源(2)为信号控制板(3)提供所需的工作电压；信号控制板(3)通过模拟信号控制伺服驱动器(4)输出电流的幅值、波形和频率，同时进行电流反馈信号的采集；外部控制器与信号控制板(3)进行信息的交换。
2.如权利要求1所述的一种抖动控制器(Dither Controller)，其特征在于，信号控制板能输出幅值为±5V、波形为三角波、且频率为93Hz的控制信号。
3.如权利要求1所述的一种抖动控制器(Dither Controller)，其特征在于，伺服驱动器能输出与控制信号相同波形和频率的电流，而且具有电流监测功能。
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