[发明专利]柔性产品卷绕式真空镀膜设备

权利要求书

1.一种柔性产品卷绕式真空镀膜设备，包括真空镀膜腔，其特征在于：在所述真空镀膜腔内的底部布置有膜料蒸发系统和能量源，在所述真空镀膜腔内的顶部安装有卷绕式工装，所述卷绕式工装包括下端设有敞口的壳体，在所述壳体内下部安装有两个间隔布置的滚筒，两个所述滚筒之间的间隔正对壳体的敞口，在两个滚筒上套有第一传动带，在至少一个滚筒上连接有驱动装置，在所述驱动装置的作用下，所述第一传动带转动；在所述第一传动带上套有封闭筒状的待镀膜产品。

2.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：还包括镀膜厚度检测系统，所述镀膜厚度检测系统包括直接光学监测装置、反射式光学监测装置和多头晶控组件三者中的至少一个。

3.根据权利要求2所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述镀膜厚度检测系统包括直接光学监测装置、反射式光学监测装置和多头晶控组件。

4.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：在所述壳体的下端布置有至少一块挡板，所述挡板正对壳体的敞口布置且位于该敞口的下方。

5.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：在两个所述滚筒之间布置有正对壳体敞口的冷却装置。

6.根据权利要求5所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述冷却装置包括冷阱管，在所述真空镀膜腔外布置有深冷机，所述深冷机与冷阱管连通。

7.根据权利要求6所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述深冷机与真空镀膜腔也连通。

8.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：在所述真空镀膜腔内布置有加热器。

9.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：其中一个滚筒与驱动装置传动相连，在该滚筒上还安装有第一张紧机构。

10.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：在所述壳体内还安装有第二张紧机构，所述第二张紧机构位于两个滚筒之间间隔的上方，用于对待镀膜产品进行张紧。