[发明专利]一种废硫酸回收装置及其回收方法

说明书

本发明公开了一种用于对半导体行业产生的废硫酸进行回收的废硫酸回收装置及其回收方法，属于废硫酸回收技术领域。所述废硫酸回收装置包括用于对废硫酸中的杂质进行过滤的过滤器，所述过滤器通过管道依次连接有用于去除氯气的一级反应釜和用于去除双氧水的二级反应釜，通过一级反应釜和二级反应釜能够将半导体行业产生的废硫酸中的双氧水和氯气去除，使得处理后的废硫酸达到电子级硫酸的标准，能够回收利用。本发明所述废硫酸回收装置结构简单且回收方法简单易行回收效率高。

技术领域

本发明涉及废硫酸回收技术领域，尤其涉及一种用于对半导体行业产生的废硫酸进行回收的废硫酸回收装置及其回收方法。

背景技术

为了剥离液晶片表面上的有机物，采用大量硫酸与双氧水、氯气混合制备的清洗剂，清洗后的硫酸含有双氧水、氯离子、及杂质，不能回收利用，且由于硫酸本身是强氧化性，并且无害化处置会产生大量二氧化硫他是大气中的主要污染物，对环节和人体健康有很大的危害，同时也是产生酸雨的主要原因。随着经济的高速发展，我国二氧化硫的排放量已经已居世界首位，各地都不同程度地出现酸雨，成为继欧洲、北美之后的酸雨重污染区。半导体行业产生的废硫酸量又比较大从环保、经济等方面考虑我们着手于此废硫酸的回收利用技术，为企业减轻处置压力和处置费用。

发明内容

为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供了一种废硫酸回收装置及其回收方法，能够对半导体行业产生的废硫酸进行回收利用。

为了达到上述目的，本发明采取的技术方案如下：

一种废硫酸回收装置，包括用于对废硫酸中的杂质进行过滤的过滤器，所述过滤器通过管道依次连接有用于去除氯气的一级反应釜和用于去除双氧水的二级反应釜。

进一步地，所述过滤器上设有第一进料口和第一出料口，所述第一进料口位于过滤器的顶部且与废硫酸管道连接，所述第一出料口位于过滤器的底部且通过第一连接管道与一级反应釜连通；所述过滤器的内部填充有滤料，所述滤料的顶部和底部均设有过滤筛网，所述过滤筛网位于第一进料口的下方且与过滤器可拆卸连接。

进一步地，所述滤料采用聚乙烯高效纤维制备而成的滤料，所述滤料的直径均大于过滤筛网的孔径，所述滤芯与顶部的过滤筛网之间留有用于反冲洗的活动间隙。

进一步地，所述过滤器还包括反冲洗装置，所述反冲洗装置包括设在过滤器底部的用于与清洗水管道连通的清洗水连接口和与压缩空气管道连通的压缩空气连接口，所述清洗水连接口处设有用于将清洗水打入过滤器内部的泵送装置，所述过滤器的顶部设有排污口。

进一步地，所述一级反应釜的顶部设有第二进料口，底部设有用于与二级反应釜连通的第二出料口；所述一级反应釜内填充有吸附填料，所述吸附填料的顶部和底部设有布水板，所述布水板与一级反应釜可拆卸连接且位于第二进料口的下方；所述一级反应釜的底部设有用于对硫酸液进行加热的加热盘管，所述加热盘管固定在一级反应釜的底部且位于布水板的下方；所述一级反应釜的顶部还连接有第一抽风装置，所述第一抽风装置连接有碱洗喷淋塔，用于对一级反应釜内分解的氯气进行吸收。

进一步地，所述吸附填料采用多面空心球填料，所述布水板上均匀开设有多个布水孔，所述布水孔的直径小于吸附填料的最小直径。

进一步地，所述二级反应釜包括夹套加热反应釜，所述二级反应釜的顶部开设有第三进料口和催化剂注入口，底部开设有第三出料口、热源进口、冷凝水排出口和取样口；所述热源进口和冷凝水排出口与二级反应釜的夹套连通；所述取样口连接有氯气检测装置；所述二级反应釜的内部固定有搅拌装置。

进一步地，所述二级反应釜的顶部还连接有第二抽风装置，用于对二级反应釜产生的有害废气及加热过程中的水蒸气排除；所述第二抽风装置连接有碱洗喷淋塔，用于对二级反应釜3产生的有害废气及加热过程中的水蒸气进行吸收。

一种废硫酸回收装置的回收方法，所述回收方法包括：