[发明专利]一种靶材定位装置及三坐标定位设备在审
| 申请号： | 201810746530.9 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN108895963A | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;占卫君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 崔振 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 定位装置 定位组 立柱 底座 定位设备 激光器 定位槽 三坐标 工作台 配置 半导体技术领域 预设距离 侧边 抵接 平行 照射 激光 穿过 侧面 | ||
1.一种靶材定位装置，其特征在于，包括:
底座、第一定位组和激光器；
所述底座被配置为固定在工作台上；
所述第一定位组均设置在所述底座远离所述工作台的一侧；所述第一定位组包括两个第一立柱，两个所述第一立柱具备第一预设距离，两个所述第一立柱均被配置为抵接在靶材的侧边；
所述靶材的侧面上设置有一个定位槽；所述激光器被配置为发出激光以照射到第一平面，所述第一平面与所述工作台平行且穿过所述定位槽。
2.根据权利要求1所述的靶材定位装置，其特征在于：
所述底座具备安装孔；
所述安装孔被配置为通过连接件与所述工作台固定连接。
3.根据权利要求2所述的靶材定位装置，其特征在于：
所述连接件与所述工作台可拆卸地连接。
4.根据权利要求3所述的靶材定位装置，其特征在于：
所述连接件与所述工作台螺纹连接。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的靶材定位装置，其特征在于：
所述第一立柱远离所述底座的端部均设置有缓冲套。
6.根据权利要求5所述的靶材定位装置，其特征在于：
所述缓冲套为橡胶套。
7.根据权利要求1-4中任一项所述的靶材定位装置，其特征在于：
所述靶材定位装置还包括第二定位组；所述第二定位组包括两个第二立柱，所述第一立柱和所述第二立柱均设置在所述底座的同一侧；
所述第一立柱的高度大于所述第二立柱的高度。
8.根据权利要求7所述的靶材定位装置，其特征在于：
所述第二立柱远离所述底座的端部设置有缓冲套。
9.根据权利要求7所述的靶材定位装置，其特征在于：
所述第一定位组和所述第二定位组对称地设置在所述底座上。
10.一种三坐标定位设备，其特征在于：
所述三坐标定位设备包括权利要求1-9中任一项所述的靶材定位装置。
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