[发明专利]一种有机电致发光与光伏一体化器件的制备方法在审
| 申请号: | 201810743241.3 | 申请日: | 2018-07-09 |
| 公开(公告)号: | CN108899432A | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
| 发明(设计)人: | 陈果;张鹏鹏;凌志天;刘飞扬;魏斌;张建华 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
| 主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/52;H01L51/54;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 王戈 |
| 地址: | 200000*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 制备 有机电致发光 一体化器件 真空蒸镀 光伏 制膜 沉积 基板 电子给体层 电子受体层 阳极缓冲层 阴极缓冲层 铟锡氧化物 导电阳极 阴极 阳极 后退火 烘干 衬底 清洗 透明 优化 | ||
本发明公开了一种有机电致发光与光伏一体化器件的制备方法。该方法包括:在透明衬底上制备铟锡氧化物导电阳极,得到带有铟锡氧化物导电阳极的基板;对所述基板进行清洗和烘干;采用真空蒸镀制膜方法在基板的阳极上沉积制备阳极缓冲层;采用真空蒸镀制膜方法在阳极缓冲层上沉积制备电子给体层;采用真空蒸镀制膜方法在电子给体层上沉积制备电子受体层;采用真空蒸镀制膜方法在电子受体层上沉积制备阴极缓冲层;采用真空蒸镀制膜方法在阴极缓冲层上沉积制备阴极,得到有机电致发光与光伏一体化器件;将有机电致发光与光伏一体化器件进行后退火处理。本发明提供的有机电致发光与光伏一体化器件的制备方法丰富和优化了器件的性能,提高了器件的利用率。
技术领域
本发明涉及有机光电器件领域,特别是涉及一种有机电致发光与光伏一体化器件的制备方法。
背景技术
目前,随着社会的不断进步,科技的不断发展,有机光电子技术不断地丰富起来,成为继微电子技术之后迅速发展的高科技含量的一门科学技术。在这一领域,发展迅速、备受瞩目的有机发光电子显示屏已经进入了市场,特别是小尺寸有机发光二极管手机显示屏已经是当前各大厂商争宠的对象,它具有高效率、高亮度、宽视角、超轻便和可柔性等特点。同样基于有机材料的有机太阳能电池和有机场效应薄膜晶体管的理论研究和实际应用也都取得了巨大的进展,可以预见在不久的将来,它们也将走进千家万户。特别是利用清洁能源太阳能的有机太阳能电池采用有机/聚合物材料及简易的成膜工艺在其光电转换效率方面已经取得了突破性进展,为缓解化石能源的枯竭和保证人类社会的可持续发展提供了良好的解决方案。
但是,上述传统的有机光电器件的功能都是单一的,有机太阳能电池不具有发光的功能,而有机电致发光器件不具有产能功能;而传统的具有多功能的集成器件的制备工艺复杂,设备制程要求高,费时费力费成本;传统的有机光电子器件的集成度较低,器件的厚度比较大,如果大规模的应用到实际生活中会产生很多的电子垃圾,这对日益严重的能源问题和环境问题是不利的。因此,开发有机电致发光二极管和光伏一体化器件对光电子技术的应用和环境的保护具有重要意义。
发明内容
本发明的目的是提供一种有机电致发光与光伏一体化器件的制备方法,能够丰富和优化器件的性能,提高器件的利用率。
为实现上述目的,本发明提供了如下方案:
一种有机电致发光与光伏一体化器件的制备方法,所述方法包括:
在透明衬底上制备导电阳极,得到带有导电阳极的基板;
对所述基板进行清洗和烘干;
采用真空蒸镀制膜方法在所述基板的阳极上沉积制备阳极缓冲层;
采用真空蒸镀制膜方法在所述阳极缓冲层上沉积制备电子给体层;
采用真空蒸镀制膜方法在所述电子给体层上沉积制备电子受体层;
采用真空蒸镀制膜方法在所述电子受体层上沉积制备阴极缓冲层;
采用真空蒸镀制膜方法在所述阴极缓冲层上沉积制备阴极,得到有机电致发光与光伏一体化器件;
将所述有机电致发光与光伏一体化器件进行后退火处理。
可选的,所述在透明衬底上制备导电阳极,得到带有导电阳极的基板,具体包括:
采用离子溅射技术在透明衬底上制备铟锡氧化物薄膜;
采用刻蚀工艺在所述铟锡氧化物薄膜刻蚀出电极图案。
可选的,所述对所述基板进行清洗和烘干,具体包括:
采用带有去污粉和洗洁精的去离子水对所述基板进行超声清洗,记为第一次清洗;
采用去离子水对经过第一次清洗的基板进行超声清洗,记为第二次清洗;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





