[发明专利]一种基于移动肖特基结的直流发电机及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201810739256.2 申请日: 2018-07-06
公开(公告)号: CN109037352A 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 林时胜;陆阳华;冯思睿;郝珍珍;延燕飞 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01L29/872 分类号: H01L29/872;H01L21/329;H01L21/34
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 万尾甜;韩介梅
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 肖特基结 直流发电机 移动 制备 半导体衬底表面 半导体衬底材料 漂移 半导体衬底层 导电薄膜材料 电子设备提供 柔性导电薄膜 直流电 导电薄膜层 机械能转换 直流电信号 电场 第二电极 第一电极 接触移动 绿色能源 器件结构 清洁能源 压电材料 电荷 肖特基 异质结 发电机 层压 制作 背面 再生
【权利要求书】:

1.一种基于移动肖特基结的直流发电机,其特征在于,该直流发电机包括两部分,一部分为半导体衬底层(2),在其一侧设有第一电极(1),另一部分为导电薄膜层(3),在其一侧设有第二电极(4),半导体衬底层的裸露侧与导电薄膜层的裸露侧可移动接触,形成可移动的肖特基异质结。

2.根据权利要求1所述的一种基于移动肖特基结的直流发电机,其特征在于,所述的半导体衬底层(2)为硅、砷化镓、铟镓砷、氧化锌、锗、氮化镓或者磷化铟中的一种。

3.根据权利要求1所述的一种基于移动肖特基结的直流发电机,其特征在于,所述的导电薄膜层(3)是石墨烯膜、石墨膜、铜膜、铝膜、铂膜、铁膜、金膜或者银膜中的一种。

4.根据权利要求1所述的一种基于移动肖特基结的直流发电机,其特征在于,所述的第一电极(1)与第二电极(4)均选自金、钯、铜、银、钛、铬、镍、铂和铝中的一种或者几种的复合电极,厚度为1-500nm。

5.根据权利要求1所述的一种基于移动肖特基结的直流发电机,其特征在于可以将风能、潮汐能、机械能等中的任一种转换为电信号。

6.根据权利要求1所述的一种基于移动肖特基结的直流发电机,其特征在于产生的电信号为直流电信号。

7.制备如权利要求1-6任一项所述的一种基于移动肖特基结的直流发电机的方法,其特征在于,制备过程包括如下步骤:

先在半导体衬底材料背面制作第一电极;在一定厚度的柔性的导电薄膜材料上制作第二电极;将柔性的导电薄膜材料层压到半导体衬底表面相互接触,即得到移动肖特基异质结发电机,相互移动即可得到直流电信号。

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