[发明专利]表面带有镀层的贵金属制品及其制备方法在审
| 申请号: | 201810737724.2 | 申请日: | 2018-07-06 |
| 公开(公告)号: | CN108570641A | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
| 发明(设计)人: | 王彤;唐双喜 | 申请(专利权)人: | 深圳市联合蓝海科技开发有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/34;C23C28/00 |
| 代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 刘依云;乔雪微 |
| 地址: | 518019 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 贵金属 制备 物理气相沉积层 制品基体 镀层 表面沉积金属 金属碳氮化物 物理气相沉积 金属氟化物 金属硫化物 金属硼化物 金属碳化物 金属氧化物 保护气体 表面镀层 表面膜层 超声处理 基体表面 气体流速 氮化物 膜层 沉积 附着 金属 协同 检测 | ||
1.一种贵金属制品,其特征在于,该贵金属制品包括:贵金属基体(1)和附着在贵金属基体(1)表面的物理气相沉积层(2),所述贵金属为黄金或者银。
2.根据权利要求1所述的贵金属制品,其中,贵金属基体(1)中黄金的含量为33-99.99重量%,优选99-99.99重量%,银的含量为92.5-99重量%。
3.根据权利要求1或2所述的贵金属制品,其中,物理气相沉积层(2)的厚度为10nm-50μm;物理气相沉积层(2)的材质为Ni、Ti、Zn、Cr、Mg、Nb、Sn、Al、In、Fe、Zr、Si、Cu、Ta、Ge、Ag、Co、Au、Gd、La、Y、Ce、W、Hf、Mo、CrN、TiN、TiAlCN、TiCN、TiAlN、AlTiN、TiB2、ZrN、FeCo、AlSi、TiSi、CrSi、ZnAl、TiZn、TiAl、TiZr、TiSi、TiNi、NiAl、NiV、NiFe、金铜合金和DLC中的一种或多种,优选为金铜合金。
4.根据权利要求1或2所述的贵金属制品,其中,所述贵金属基体(1)的表面粗糙度为0.001μm-50μm,优选0.005μm-0.2μm。
5.一种贵金属制品的制备方法,其特征在于,该方法包括:采用物理气相沉积在贵金属基体(1)表面附着物理气相沉积层(2)。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其中,物理气相沉积的条件使得物理气相沉积层(2)的厚度为10nm-50μm。
7.根据权利要求5所述的制备方法,其中,物理气相沉积的方式为真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜或真空离子镀膜,优选为真空离子镀膜;其中,真空离子镀膜的步骤包括:贵金属基体(1)在真空条件下放置,之后对贵金属基体(1)进行加热,启动金属靶,并注入气体,加载偏压,在贵金属基体(1)的表面进行镀膜;
其中,贵金属基体(1)在真空条件下放置时,真空度为1×10-2Pa至7×10-3Pa;
注入气体后,真空度为1×10-2Pa至9.5×10-1Pa,加热温度为50-260℃,镀膜时间为2-2000min;
所述金属靶所采用的材质选自镍、锌、镁、锡、铁、铬、硅、铜、钛、锆、钼、钨、铝、铌、铟、钽、锗、银、金、钴、钆、镧、钇、铈、铪、钨、金铜合金、不锈钢及其合金或者氧化物、氮化物、碳化物、氟化物、硫化物、硼化物中的至少一种,优选为金铜合金;
气体包括保护气体和调色气体,所述保护气体为惰性气体,所述调色气体选自氮气、乙炔、甲烷和氧气中的一种或多种;其中,所述保护气体的气体流量为20-200sccm;所述调色气体的气体流量为50-500sccm;
加载偏压为10-150V,占空比为10-80%;
金属靶的靶材电流为:柱靶3-120A,弧靶50-200A。
8.根据权利要求5所述的制备方法,其中,在物理气相沉积之前进行辉光清洗,所述辉光清洗的条件包括:保护气体的气体流量为100-320sccm,加载偏压为380-1000V,占空比为10-80%,时间为160-720s。
9.根据权利要求5所述的制备方法,其中,所述方法还包括对贵金属基体(1)的表面进行表面处理,以使贵金属基体(1)的表面粗糙度为0.001μm-50μm,优选0.005μm-0.2μm。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其中,所述方法还包括对表面处理后的贵金属基体(1)进行清洗,清洗的方式为:将贵金属基体(1)在20-30kHz的条件下超声洗涤1-15min,和/或采用95-98重量%的酒精清洁贵金属基体(1)表面;
优选地,所述方法还包括对超声处理后的贵金属基体(1)进行烘干,烘干温度为100-150℃,烘干时间为5-30min。
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