[发明专利]靶材组件在审
| 申请号： | 201810731551.3 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN108624856A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 李静雅;白洋;孙良成;刘小鱼;娄树普;李慧;鲁飞;刘树峰;王峰;成宇;李德辉 | 申请（专利权）人： | 包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 张良 |
| 地址： | 014030 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶体 盖圈 靶材组件 冷却背板 底面 溅射 开口 靶材利用率 不均匀 溅射面 上端面 上平面 靶材 腔室 室内 消耗 | ||
1.一种靶材组件，其特征在于，包括：靶体盖圈、中心靶体、冷却背板，靶体盖圈在中部设置有开口，在内侧设置有腔室；中心靶体设置在腔室内，中心靶体与腔室无缝隙紧密配合，靶体盖圈的底部固定在冷却背板上；中心靶体的底面与靶体盖圈的底面位于同一个平面；中心靶体位于开口的上平面与上端面构成溅射面。
2.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，靶体盖圈与中心靶体的材质选用Cu、Al、Ni、Ti、W的单一金属或者合金。
3.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，中心靶体为单体靶或者焊接型靶。
4.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，靶体盖圈与中心靶体为相同材质。
5.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，靶体盖圈的材质为钛，中心靶体的材质为铝。
6.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，靶体盖圈的上端面为环形平面或者环形斜面，靶体盖圈、腔室的外形为圆柱体，中心靶体的底面与靶体盖圈的底端面贴合于冷却背板上。
7.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，中心靶体与腔室采用螺纹连接的方式。
8.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，上端面的顶部设置特有顶柱，顶柱为环形，顶柱的顶面为环形平面；上端面、顶柱、中心靶体位于开口的上平面构成台阶形的溅射面。
9.如权利要求8所述靶材组件，其特征在于，顶柱的外径与靶体盖圈的外径相同。
10.如权利要求1所述靶材组件，其特征在于，靶体盖圈、腔室、中心靶体的外形为矩形柱体。
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