[发明专利]一种光调制器

说明书

本申请涉及光通信技术领域，公开了一种光调制器包括：衬底层，具有第一表面；行波电极，设于上述衬底层的第一表面上，包括多个接地极和各接地极之间的信号电极；光波导，设于上述衬底层内部，与行波电极相匹配；屏蔽层，包括基板和金属层，其中，基板覆盖于行波电极上，金属层设于该基板背向行波电极的表面上；上述各接地极均与该金属层电连接，以对各接地极之间的信号电极进行电磁屏蔽。通过在行波电极调制器的电极增设金属屏蔽层，并将各接地极与该屏蔽层的金属层电连接，可以有效隔离光调制器各通道间的串扰，还可屏蔽行波电极的电磁辐射，解决了行波电极电磁辐射大的问题。

技术领域

本申请涉及光通信技术领域，尤其涉及一种光调制器。

背景技术

目前的光调制系统一般由驱动器和调制器构成，行波电极调制器由于具有可得到较高消光比与较易集成的特点而得到广泛应用。行波电极调制器，按照驱动方式分有单极驱动和双极驱动方式，按照光波导的排布方式还有串联推挽式结构和分离双臂式等结构。一般的行波电极调制系统主要由驱动器20和行波电极调制器10构成，如图1所示，其中，行波电极调制器10的截面示意如图2所示。

其工作原理为：Driver(驱动器20)经过键合引线连接到行波电极调制器10，光波导130放置于行波电极120电场中，由Driver端输出高速数字信号，数字信号到达行波电极调制器10，沿行波电极120传播，光波在光波导130中传播，行波电极120中高速数字信号的所带来的电场变化会使光波导130的有效折射率发生变化。因此当高速数字信号在行波电极120上传播时，高速数字信号的电场使光波导130的折射率发生变化，从而使光波的相位发生变化，使光波携带上数字信号信息，光波在后端的马赫增德尔干涉仪中干涉，从而完成调制。

实际使用中，整个行波电极调制器芯片一般为完整的四通道、八通道或者更多的通道，通道越多，各通道之间的间距就越小，芯片上各个通道之间就会存在串扰。如图3所示，为使用时行波电极调制器内的电磁场辐射示意图，光调制器安装在一热沉上，即芯片的衬底层110下面会有热沉垫片30，通常为金属垫片，同时也作为金属接地层。信号电极121的电磁场150会向自由空间辐射，这些辐射会导致电磁辐射问题，有一部分电磁场150还会耦合到相邻的通道造成串扰，串扰会造成信号产生噪声，最终影响链路的误码率，而且Driver输出的共模电压也会造成行调制器芯片端行波电极电磁辐射较大，导致模块认证失败等问题。

发明内容

本申请的目的在于提供一种光调制器，可对光调制器上各通道间的串扰进行有效隔离，同时解决了行波电极电磁辐射大的问题。

为了实现上述目的之一，本申请提供了光调制器，包括：

衬底层，具有第一表面；

行波电极，设于所述衬底层的第一表面上，包括多个接地极和各接地极之间的信号电极；

光波导，设于所述衬底层内部，与所述行波电极相匹配；

屏蔽层，包括基板和金属层；所述基板覆盖于所述行波电极上；所述金属层设于所述基板背向所述行波电极的表面上；

各所述接地极均与所述金属层电连接，以对各接地极之间的信号电极进行电磁屏蔽。

作为实施方式的进一步改进，同一所述接地极与所述金属层具有多处电连接。

作为实施方式的进一步改进，所述接地极通过导电引线与所述金属层电连接。

作为实施方式的进一步改进，所述基板与各所述接地极相对的位置设有导电过孔，所述接地极通过所述导电过孔与所述金属层电连接。

作为实施方式的进一步改进，同一所述接地极与金属层之间相邻两处电连接的间隔小于或等于200微米。

作为实施方式的进一步改进，所述行波电极具有延伸出基板的延伸段，所述延伸段电连接有焊盘。