[发明专利]复频振动微结构表面加工装置

权利要求书

1.复频振动微结构表面加工装置，包括对应设置的基座（1）和支架（2），其特征在于：所述支架上设有可升降的横梁（21），所述横梁上设有与超声发生器（6）连接的换能器（22），所述换能器底部连接有变幅杆（23），所述变幅杆底部设有研磨头（24），所述研磨头内设有气流通道（241）；

所述基座上设有由第一动力源（91）带动转动的平台（11），所述平台上设有第二动力源（92）带动振动的安装板（12），所述安装板上设有用于固定工件（7）的夹具（121）；

还包括空气压缩机（3），所述空气压缩机通过导管（31）与所述气流通道连通。

2. 根据权利要求1所述的复频振动微结构表面加工装置 ，其特征在于：所述气流通道包括设于所述研磨头侧壁的进口（2411）和设于所述研磨头底部的出口（2412），所述进口与所述出口连通。

3. 根据权利要求2所述的复频振动微结构表面加工装置 ，其特征在于：所述支架上设有由第三动力源驱动转动的丝杆（201），所述丝杆上设有相配合的滑座（202），所述横梁与所述滑座连接。

4. 根据权利要求3所述的复频振动微结构表面加工装置 ，其特征在于：所述第一动力源为电机，所述基座上设有固定座（10），所述固定座上设有由所述电机带动转动的主轴（101），还包括转动筒（102），所述主轴顶端伸入所述转动筒内且带动所述转动筒转动，所述安装板设于所述转动筒顶部。

5. 根据权利要求4所述的复频振动微结构表面加工装置 ，其特征在于：所述固定座上设有v形的导向凸起（108），所述转动筒底部设有与所述导向凸起滑动配合的导向槽（1021）。

6. 根据权利要求5所述的复频振动微结构表面加工装置 ，其特征在于：所述转动筒内设有所述第二动力源，所述第二动力源为偏振电机。

7. 根据权利要求6所述的复频振动微结构表面加工装置 ，其特征在于：所述安装板底部设有连接板（26），所述偏振电机通过螺钉安装于所述连接板上，所述转动筒边缘设有凸缘（103），所述凸缘上端面设有弹性件（104），所述弹性件的上端面与所述连接板的下端面抵压配合。

8. 根据权利要求7所述的复频振动微结构表面加工装置 ，其特征在于：所述弹性件为弹簧。

9. 根据权利要求8所述的复频振动微结构表面加工装置 ，其特征在于：还包括研磨液放置罐（8），所述研磨液放置罐与所述导管连通，所述导管上设有单向阀（311），所述单向阀依次与所述研磨液放置罐与刀具连通。

10. 根据权利要求9所述的复频振动微结构表面加工装置 ，其特征在于：所述超声发生器发出的频率为15000~30000Hz，振幅为15~50μm和所述偏振电机的输出振动的频率为20~200Hz、振幅为100~200μm。