[发明专利]光配向装置及方法

说明书

本发明提供了一种光配向装置及方法，所述光配向装置包括配向光源、工件台、遮光机构以及传动机构。所述遮光机构对基板分区遮挡，所述工件台承载所述基板在所述光源照射区域内移动，所述传动机构切换所述遮光机构的遮光工位，完成对基板透光区域的配向；所述遮光机构变换分区遮挡模式以及所述工件台旋转后继续对基板透光区域进行配向，实现在同一基板上进行多角度的分区配向，提高基板利用率，降低了成本。同时通过切换所述遮光机构的遮光工位，还可以对同一基板不同区域进行多次配向，使得基板不同区域的表面照度的均匀化，达到更好配向效果，提高基板利用率。

技术领域

本发明涉及半导体加工制造领域，尤其是涉及一种光配向装置及方法。

背景技术

近年来，随着液晶显示领域的利用扩大，需求增大，强烈要求改善液晶显示装置的视场角，对比度，响应速度等。

目前在TFT LCD生产中最为广泛运用的配向技术是磨刷配向(Rubbingalignment)法。磨刷配向法可以提供液晶分子较强的配向能力，但是在磨刷的过程中，由于利用绒布接触式的摩擦，因此会产生静电和颗粒(particle)的污染，而这些污染往往直接造成液晶元件的损坏。因此不论是学术界还是业界都在不断研究改进非接触式的配向方式。非接触式的配向方式除了可以避免静电和颗粒的污染，也可以比较容易控制液晶分子的配向方式。利用非接触式的配向方式，可以根据一些特定的图形在遮罩来制作小面积的配向，进而制作一些特别需求的液晶元件。其中最被业界熟知的非接触式配向方法为以线偏极紫外光去照射有感光剂的配向膜，也称之为紫外光配向法，简称光配向。

具体而言，光配向利用线性偏极的紫外光照射在具有感光剂的高分子聚合物配向膜上，使得高分子聚合物具有配向能力。其优点是可避免玻璃基板表面的污染、可以进行小面积的配向、透过光罩可作图形的配向，而且，利用入射光的角度与照射时间的长短，可以控制液晶单元的参数，如预倾角、表面定向强度等。

利用光配向设备进行配向时，一般在基座的上方设置光源，光源的位置固定，将基板放置于基座上，移动基座来对基板上的配向膜进行光配向。在目前的光配向设备上无遮挡板，即一个基板上仅能配一种配向角度，而当前高世代基板研发试验过程或加工工艺中经常需要在同一基板上形成至少2个不同配向方向的区域，现有技术无法满足此类需求，将造成研发试验过程的资源浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光配向装置及方法,以解决目前光配向设备基板上仅能配一种配向角度，基板利用率低的问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种光配向装置,包括：光源、工件台、遮光机构以及传动机构；

其中，所述光源提供配向过程所需配向光；所述遮光机构包括多个遮光组件，用于对基板进行分区遮挡；所述遮光机构控制所述遮光组件的遮光与透光，变换分区遮挡模式；

所述遮光机构对基板分区遮挡，所述工件台承载所述基板在所述光源照射区域内移动，所述传动机构切换所述遮光机构的遮光工位，完成对基板透光区域的配向；所述遮光机构变换分区遮挡模式以及所述工件台旋转后继续对基板透光区域进行配向，实现在同一基板上进行多角度的分区配向。

可选的，所述遮光组件包括遮光板、第一驱动器和支撑板；所述遮光机构设有遮光工位和透光工位，所述第一驱动器的一端和所述遮光板相连，另一端与所述支撑板相连；所述第一驱动器通过驱动所述遮光板上升或下降实现所述遮光板在透光工位和遮光工位之间的切换。

可选的，所述遮光组件还包括第一连接组件和第二连接组件，所述遮光板包括若干遮光片和框架；所述遮光片设置在所述第一连接组件上并通过所述第一连接组件与所述框架相连，所述第一连接组件与所述框架转动连接；所述第二连接组件的一端与所述框架相连，另一端与所述第一连接组件转动连接；所述第一驱动器的一端与所述框架相连，另一端与所述支撑板相连；所述第一驱动器沿竖直方向运动驱动所述第二连接组件做往复运动，所述第二连接组件沿水平方向运动驱动所述第一连接组件运动，所述第一连接组件运动驱动所述遮光片翻转实现所述遮光板的遮光与透光。