[发明专利]LCOS显示器及电子设备

权利要求书

1.一种LCOS显示器，其特征在于，包括晶圆基板以及依次层叠在所述晶圆基板上的反射镜堆、具有多个像素电极的像素电极层、液晶层以及透明盖板，所述晶圆基板中形成有驱动电路，所述像素电极层中的各个像素电极通过贯穿所述反射镜堆的导电通孔结构与所述驱动电路电连接；

其中，所述反射镜堆包括依次层叠的反射金属层以及电介质层；所述反射金属层中形成有暴露出所述晶圆基板表面的沟槽，所述沟槽将所述反射金属层划分多个块，每个所述块能够覆盖相应的所述像素电极之间的间隙；所述电介质层覆盖在所述反射金属层和所述沟槽的上方；所述沟槽中填充有所述电介质层，或者，所述沟槽中填充有顶面与所述反射金属层的顶面齐平、材质不同于所述电介质层的隔离材料，或者，所述沟槽被所述电介质层封闭为气隙；所述导电通孔结构穿过所述沟槽并与所述反射金属层相互绝缘。

2.如权利要求1所述的LCOS显示器，其特征在于，所述反射金属层的材质包括镁、铜、铝、钛、钽、金、锌和银中的至少一种。

3.如权利要求1所述的LCOS显示器，其特征在于，所述电介质层为单层结构或叠层结构，所述电介质层的材质包括氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化铝、氧化钛、五氧化二钽、氧化铪、氮化钛、氮化钽、氧化锌和氟化镁中的至少一种。

4.如权利要求1至3中任一项所述的LCOS显示器，其特征在于，所述反射金属层为银，所述电介质层为氧化钛-氧化硅-氧化钛叠层结构。

5.如权利要求1所述的LCOS显示器，其特征在于，所述像素电极层还包括绝缘钝化层，所述多个像素电极形成在所述绝缘钝化层中。

6.如权利要求5所述的LCOS显示器，其特征在于，所述像素电极为半透光电极或者全透光性电极。

7.如权利要求6所述的LCOS显示器，其特征在于，所述像素电极的厚度为

8.如权利要求1所述的LCOS显示器，其特征在于，所述液晶层与所述像素电极层之间还形成有第一配向层；所述液晶层与所述透明盖板之间还依次层叠有第二配向层和透明导电层；所述透明盖板的上表面上还覆盖有抗反射层。

9.一种电子设备，其特征在于，包括权利要求1至8中任一项所述的LCOS显示器。