[发明专利]一种冷阴极磁控管的阴极在审
申请号: | 201810694142.0 | 申请日: | 2018-06-29 |
公开(公告)号: | CN109065427A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 李锐;贺兆昌;朱刚;刘鲁伟;沈旭东;侯信磊;吴云龙;王鹏康 | 申请(专利权)人: | 安徽华东光电技术研究所有限公司 |
主分类号: | H01J23/05 | 分类号: | H01J23/05;H01J25/50 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 张苗 |
地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 初级发射 电极 支撑筒 阴极 钨海绵体 磁控管 次级发射 电极组件 冷阴极 外周壁 嵌插 填塞 浸渍 两端开口状 电极设置 工作寿命 活性物质 使用寿命 有效减少 底端口 第一端 顶端口 铝酸盐 屏蔽帽 支撑片 端盖 蒸发 外部 延伸 | ||
1.一种冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,包括:支撑筒(6)、多个初级发射电极组件(1)和多个次级发射电极(2);所述支撑筒(6)为两端开口状,其顶端口处填塞有第一端盖(4)、底端口处填塞有第二端盖(5),所述支撑筒(6)的两端均套设有屏蔽帽(3);
所述次级发射电极(2)为浸渍有铝酸盐的钨海绵体,且所述次级发射电极(2)设置于所述支撑筒(6)的外周壁上;
所述初级发射电极组件(1)嵌插于所述钨海绵体上,所述初级发射电极组件(1)包括初级发射电极(7)、且所述初级发射电极(7)的上设置有多个支撑片(8),所述初级发射电极(7)的一端嵌插于所述钨海绵体上且与所述支撑筒(6)的外周壁接触,另一端延伸至所述钨海绵体的外部。
2.根据权利要求1所述的冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,所述支撑片(8)设置于所述初级发射电极(7)的一端且包埋于所述钨海绵体内。
3.根据权利要求1所述的冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,所述浸渍有铝酸盐的钨海绵体为立体圆环状海绵,且所述立体圆环状海绵套设于所述支撑筒(6)的外周壁上。
4.根据权利要求2所述的冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,所述立体圆环状海绵的孔隙度为21~25%。
5.根据权利要求1所述的冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,所述铝酸盐的组成包括氧化钡、氧化钙和三氧化二铝;且所述氧化钡、氧化钙和三氧化二铝的摩尔比为2.2-2.5:0.5-0.8:1。
6.根据权利要求1所述的冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,所述初级发射电极(7)的由厚度为0.01-0.03mm的钨金属片加工制得。
7.根据权利要求1所述的冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,所述支撑片(8)由厚度为0.05-0.08mm的钼金属片加工制得。
8.根据权利要求1所述的冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,所述初级发射电极组件(1)的数量为4-7;
优选地,所述初级发射电极组件(1)的数量为5。
9.根据权利要求1所述的冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,所述次级发射电极的数量为4-8;
优选地,所述次级发射电极的数量为6。
10.根据权利要求1所述的冷阴极磁控管的阴极,其特征在于,所述初级发射电极(7)由1个初级发射电极(7)和2支撑片(8)组成。
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