[发明专利]针对加速器的换靶机构的定位系统及其定位方法

权利要求书

1.一种针对加速器的换靶机构的定位系统，其特征在于：包括:插板阀、设置在加速器的真空腔中的靶盘(1)、设置在所述真空腔外的靶杆、直线驱动装置以及旋转驱动装置；

所述插板阀位于真空腔的一端部；

所述靶盘(1)包括靶盘盘体(101)，所述靶盘盘体(101)与旋转驱动装置连接，所述靶盘盘体(101)的一个圆形壁面或者一个扇形壁面上设有凸起的V型槽，所述V型槽的数量为若干，所述V型槽沿周向均匀环绕分布在该圆形壁面或者该扇形壁面上，所述V型槽内的一个边壁上开有插槽；

所述靶杆与直线驱动装置连接；

还包括定位设备，所述定位设备用来把插槽转到所述靶杆能够把连接着剥离膜的靶片准确插入的位置。

2.根据权利要求1所述的针对加速器的换靶机构的定位系统，其特征在于：所述定位设备包括定位孔(104)、光电开关、控制器以及位移传感器；

所述定位孔(104)为在所述V型槽内的那部分所述靶盘盘体(101)的圆形壁面或者扇形壁面上开有的贯通孔；

所述光电开关包括光轴正对设置的发射端(2)和接收端(3)，所述接收端(3)与所述控制器连接，所述接收端(3)设置在所述真空腔中，所述发射端(2)设置在所述真空腔外部，所述靶盘盘体(101)处在所述发射端(2)和接收端(3)之间，在所述定位孔(104)旋转到与所述光轴在同一高度时，所述发射端(2)发射出的光线就能透过所述定位孔(104)而被所述接收端(3)所接收，且在所述定位孔(104)旋转到与所述光轴在同一高度时实时停止旋转的条件下，所述靶杆在直线驱动装置的驱动下就能准确的把连接着剥离膜的靶片插入所述插槽中；

所述位移传感器与所述控制器连接，所述位移传感器用来检测所述靶杆的位移量。

3.根据权利要求2所述的针对加速器的换靶机构的定位系统，其特征在于：所述位移传感器为电子尺，所述真空腔室之外固定有固定座，所述电子尺固定在所述固定座上，所述电子尺的活动模块与所述靶杆相连。

4.根据权利要求1所述的针对加速器的换靶机构的定位系统，其特征在于：所述光轴正对设置的发射端(2)和接收端(3)的结构为：

包括板状支架一(202)和板状支架二(302)，在所述板状支架一(202)和板状支架二(302)分别开有贯通式套接孔一和贯通式套接孔二，所述套接孔一和套接孔二是正对设置的，而所述套接孔一和套接孔二分别套接着所述光轴正对设置的所述发射端(2)和接收端(3)。

5.根据权利要求1所述的针对加速器的换靶机构的定位系统，其特征在于：所述旋转驱动装置包括旋转马达，所述靶盘盘体(101)套接在所述旋转马达的马达轴上；

所述控制器通过电机驱动芯片与所述旋转马达相连接。

6.根据权利要求1所述的针对加速器的换靶机构的定位系统，其特征在于：所述直线驱动装置包括直线电机一，所述控制器与直线电机一连接，所述直线电机一的输出端与所述靶杆固定连接。

7.根据权利要求1所述的针对加速器的换靶机构的定位系统，其特征在于：所述针对加速器的换靶机构的定位系统还包括制动装置，所述制动装置包括摩擦片，所述摩擦片与直线电机二的输出端连接，所述控制器与直线电机二连接，所述摩擦片设置在所述旋转马达的马达轴旁。

8.根据权利要求5所述的针对加速器的换靶机构的定位系统，其特征在于：所述制动装置还能够是电磁摩擦式制动器，所述电磁摩擦式制动器的激磁线圈通电产生磁场，通过磁轭吸合衔铁，衔铁通过联结法兰实现对所述旋转马达的马达轴制动。