[发明专利]一种液体输送管路系统及外延剥离设备

权利要求书

1.一种液体输送管路系统，其特征在于，包括第一三通阀、第二三通阀、第一泵、第二泵、第一加热机构、第二加热机构、第一控制阀、第一循环支管和多阶加热装置，所述第二三通阀具有用于排出所述液体输送管路系统中的残留液体的废液出口，所述多阶加热装置包括多阶加热机构；其中，

所述第一三通阀的第一出口、所述第一泵、所述第一加热机构、所述第一控制阀和所述第二三通阀的进口通过管路顺次连通，以构成小流量供液流路；

所述第一循环支管的一端连接在所述第一三通阀的第一出口和所述第一泵之间的管路上，所述第一循环支管的另一端连接在所述第一泵和所述第一加热机构之间的管路上，或者，所述第一循环支管的另一端连接在所述第一加热机构和所述第一控制阀之间的管路上，以构成小循环流路；

所述第一三通阀的第二出口、所述第二泵、所述第二加热机构、至少一个所述多阶加热装置和所述第二三通阀的进口通过管路顺次连通，以构成大流量供液流路。

2.根据权利要求1所述的液体输送管路系统，其特征在于，所述液体输送管路系统还包括冷却机构和第二控制阀；

所述冷却机构和所述第二控制阀均设于所述第一循环支管上。

3.根据权利要求1所述的液体输送管路系统，其特征在于，所述液体输送管路系统还包括第三控制阀和第四控制阀；其中，

所述第三控制阀设于所述第一泵和所述第一加热机构之间；

所述第四控制阀设于所述第二泵和所述第二加热机构之间。

4.根据权利要求1所述的液体输送管路系统，其特征在于，所述多阶加热装置还包括第一多阶控制阀和第二多阶控制阀；其中，

所述第一多阶控制阀与所述多阶加热机构串联设置，所述第二多阶控制阀与所述多阶加热机构和所述第一多阶控制阀并联设置。

5.根据权利要求1所述的液体输送管路系统，其特征在于，所述液体输送管路系统还包括主控制阀，所述主控制阀通过管路与所述第一三通阀的进口相连通。

6.根据权利要求1所述的液体输送管路系统，其特征在于，所述液体输送管路系统还具有壳体；

所述第一三通阀、所述第一泵、所述第二泵、所述第一加热机构、所述第二加热机构、所述第一控制阀、所述第一循环支管和所述多阶加热装置设于所述壳体内。

7.根据权利要求1所述的液体输送管路系统，其特征在于，所述液体输送管路系统还包括第五控制阀和第二循环支管；

所述第五控制阀设于所述第二三通阀的进口和所述多阶加热装置之间；

所述第二循环支管的一端连接在所述第一三通阀的第二出口和所述第二泵之间的管路上，所述第二循环支管的另一端连接在所述多阶加热装置和所述第五控制阀之间的管路上，以构成大循环流路。

8.根据权利要求1至7任一项中所述的液体输送管路系统，其特征在于，所述液体输送管路系统还包括至少一个用于检测所述液体输送管路系统内液体的温度的温度传感器。

9.根据权利要求8所述的液体输送管路系统，其特征在于，所述液体输送管路系统还包括第一温度传感器、第二温度传感器、第三温度传感器和第四温度传感器，所述第一温度传感器设于所述第一三通阀的进口端，所述第二温度传感器设于所述第一加热机构和所述第一控制阀之间，所述第三温度传感器设于所述第二三通阀的出口端，所述第四温度传感器设于所述第二加热机构和邻近所述第二加热机构的所述多阶加热装置之间；

所述多阶加热装置还包括多阶温度传感器，所述多阶温度传感器与所述多阶加热机构串联设置。

10.一种外延剥离设备，其特征在于，包括权利要求1至9任一项中所述的液体输送管路系统。