[发明专利]立体NAND字线连接结构有效
| 申请号: | 201810683252.7 | 申请日: | 2018-06-27 |
| 公开(公告)号: | CN110390982B | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
| 发明(设计)人: | 陈士弘 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号: | G11C16/08 | 分类号: | G11C16/08 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
| 地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 立体 nand 连接 结构 | ||
1.一种存储器元件,包括:
一链接单元堆叠结构,包括一第一群链接单元和不同于该第一群链接单元的一第二群链接单元;
多个第一层间连接器,其中该多个第一层间连接器中的多个层间连接器,分别连接到该第一群链接单元中相对应的多个链接单元;
多个第二层间连接器,其中该多个第二层间连接器中的多个层间连接器,分别连接到该第二群链接单元中相对应的多个链接单元;
多条第一层图案化导线,其中该多条第一层图案化导线中的多条图案化导线,分别耦接到该多个第一层间连接器中相对应的多个层间连接器;以及
多条第二层图案化导线,配置得比该多条第一层图案化导线还高,其中该多条第二层图案化导线中的多条图案化导线,分别耦接到该多个第二层间连接器中相对应的多个层间连接器;
多个第一区域字线驱动器和多个第二区域字线驱动器,位于一字线译码器区域中;
多个第三层间连接器,其中该多个第三层间连接器中的多个层间连接器,分别耦接到该多个第一区域字线驱动器中的多个区域字线驱动器;
其中,该多条第一层图案化导线中的多条图案化导线,分别耦接到该多个第三层间连接器中的多个层间连接器。
2.如权利要求1所述的存储器元件,其中
该多个第一层间连接器和该多个第二层间连接器中的多个层间连接器,位于一阶梯状结构区域中,沿着一行方向排列成一行组;且该行组中的多行彼此之间,在与该行方向正交的一列方向上,具有一第一间距;以及
该多条第一层图案化导线和该多条第二层图案化导线中的多条图案化导线,沿着该行方向延伸,并在该列方向上该多条图案化导线彼此具有一第二间距,且该第二间距具有该第一间距的一半尺寸。
3.如权利要求1所述的存储器元件,还包括:
多个第四层间连接器,其中该多个第四层间连接器中的多个层间连接器,分别耦接到该多个第二区域字线驱动器中的多个区域字线驱动器;
该多条第二层图案化导线中的多条图案化导线,分别耦接到该多个第四层间连接器中相对应的多个层间连接器。
4.如权利要求3所述的存储器元件,其中
该链接单元堆叠结构位于具有与该字线译码器区域相对的一第一边缘的一阶梯状结构区域中;
该多个第一层间连接器位于该阶梯状结构区域中邻接该第一边缘的一第一层间连接器列组中;以及
该多个第二层间连接器位于该阶梯状结构区域中远离该第一边缘的一第二层间连接器列组中。
5.如权利要求4所述的存储器元件,其中
该多个第一区域字线驱动器,位于该字线译码器区域中邻接该阶梯状结构区域的该第一边缘的一第一字线驱动器列组中,且该第一字线驱动器列组包括多个相邻的列;以及
该多个第二区域字线驱动器,位于该字线译码器区域中远离该阶梯状结构区域的该第一边缘的一第二字线驱动器列组中,且该第二字线驱动器列组包括多个相邻的列。
6.如权利要求4所述的存储器元件,其中
该多个第一区域字线驱动器位于该字线译码器区域中的一第一字线驱动器列组中,其包括邻接该阶梯结构区域的该第一边缘的一第一列;
该多个第二区域字线驱动器位于该字线译码器区域中的一第二字线驱动器列组中,其包括邻接该第一列且远离该阶梯状结构区域的该第一边缘的一第二列;其中,该第一字线驱动器列组中的多个列与该第二字线驱动器列组中的多个列彼此交错;
该多条第一层图案化导线中的多条图案化导线,分别耦接到位于该阶梯状结构区域中的该第一层间连接器列组中的多个层间连接器,并且分别耦接到位于该字线译码器区域中的该第一字线驱动器列组中的多个区域字线驱动器;以及
该多条第二层图案化导线中的多条图案化导线,分别耦接到位于该阶梯状结构区域中的该第二层间连接器列组中的多个层间连接器,并且分别耦接到位于该字线译码器区域中的该第二字线驱动器列组中的多个区域字线驱动器。
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