[发明专利]一种显影液处理装置

权利要求书

1.一种显影液处理装置，用于光刻工艺中，所述显影液处理装置包括：

显影液喷头，所述显影液喷头由喷头主体、主进液口、辅助进液口、主液腔、辅助液腔、主喷出口、辅助喷出口组成，所述主液腔的主体为圆柱形，所述辅助液腔环绕于所述圆柱形的侧面，且所述辅助液腔与所述主液腔的位置相对固定；所述主进液口和辅助进液口设置有流量控制器，分别用于控制输送到主液腔和辅助液腔显影液的流量；

处理腔室，所述处理腔室为圆桶状，所述显影液喷头安装在处理腔室的顶部中心，所述处理腔室为密闭腔室，并且处理腔室能够控制腔室中的气氛；

晶圆基台，所述晶圆基台用于固定待显影的晶圆，所述晶圆基台能够带动晶圆旋转，所述基台的上表面与显影液喷头的下表面具有特征的距离；

显影液存储装置，所述显影液存储装置用于显影液的存储，所述显影液存储装置分别通过主进液口和辅助进液口将显影液输送到主液腔和辅助液腔；

显影液回收装置，设置在晶圆基台的下方，回收显影液；

显影液过滤装置，用于过滤回收的显影液中的杂质，并将处理过显影液输送到显影液存储装置中；

控制装置，所述控制装置用于控制存储装置注入主进液口和辅助进液口的流量，控制晶圆基台与显影液喷头的距离，控制晶圆基台的旋转速度。

2.根据权利要求1所述的显影液处理装置，其特征在于：所述主液腔的主体在与主喷出口连接处的直径线性减小至主喷出口。

3.根据权利要求1或2所述的显影液处理装置，其特征在于：所述主喷出口的直径非线性增大。

4.根据权利要求1或2所述的显影液处理装置，其特征在于：所述辅助喷出口与辅助液腔连接。

5.根据权利要求1或2所述的显影液处理装置，其特征在于：所述辅助喷出口为多个，从辅助液腔向下螺旋倾斜延伸。

6.根据权利要求5所述的显影液处理装置，其特征在于：所述辅助喷出口均匀分布在主喷出口的外侧。

7.根据权利要求6所述的显影液处理装置，其特征在于：所述辅助喷出口顺时针或逆时针螺旋延伸。