[发明专利]静电电容型压力传感器

权利要求书

1.一种静电电容型压力传感器，其特征在于，包括：

传感器芯片，其具有膜片和电极，所述膜片承受被测定介质的压力而弯曲，所述电极构成为将该膜片的位移转换为静电电容的变化；

壳体，其收纳有所述传感器芯片；

压力导入管，其连接于所述壳体并将所述被测定介质的压力引导到所述传感器芯片的膜片上；

传感器外壳，其覆盖所述壳体；

加热器，其被设置为包围所述传感器外壳的外周面；

温度传感器，其测定所述传感器外壳内的温度；

加热器控制部，其控制供给至所述加热器的供给电流，从而使由所述温度传感器测定出的所述传感器外壳内的温度变为规定的自加热温度；以及

供给电流抑制部，其构成为在引入来自所述压力导入管的清洗液进行所述壳体内清洗时，抑制供给至所述加热器的供给电流以使所述传感器外壳内的温度低于所述规定的自加热温度。

2.根据权利要求1所述的静电电容型压力传感器，其特征在于，

所述供给电流抑制部包括：

第一设定温度存储部，其将所述规定的自加热温度作为第一设定温度来存储；

第二设定温度存储部，其存储低于所述第一设定温度的第二设定温度；以及

设定温度切换部，其构成为在利用所述清洗液进行所述壳体内清洗时，将对去往所述加热器控制部的设定温度从所述第一设定温度切换到所述第二设定温度，

在来自所述设定温度切换部的所述设定温度为所述第一设定温度的情况下，所述加热器控制部以成为所述第一设定温度的方式来控制供给至所述加热器的供给电流，

在来自所述设定温度切换部的所述设定温度为所述第二设定温度的情况下，所述加热器控制部以成为所述第二设定温度的方式来控制供给至所述加热器的供给电流。

3.根据权利要求1所述的静电电容型压力传感器，其特征在于，包括：

上限值限制部，其构成为限制供给至所述加热器的供给电流的上限值，

所述供给电流抑制部包括：

第一上限电流值存储部，其存储第一上限电流值；

第二上限电流值存储部，其存储低于所述第一上限电流值的第二上限电流值；以及

上限电流值切换部，其在利用所述清洗液进行所述壳体内清洗时，将去往所述上限值限制部的上限电流值从所述第一上限电流值切换到所述第二上限电流值，

在来自所述上限电流值切换部的所述上限电流值为所述第一上限电流值的情况下，所述上限值限制部限制供给至所述加热器的供给电流的上限值以使其不超过所述第一上限电流值，

在来自所述上限电流值切换部的所述上限电流值为所述第二上限电流值的情况下，所述上限值限制部限制供给至所述加热器的供给电流的上限值以使其不超过所述第二上限电流值。

4.根据权利要求1所述的静电电容型压力传感器，其特征在于，

所述供给电流抑制部构成为在利用所述清洗液进行所述壳体内清洗时，抑制供给至所述加热器的供给电流以使所述传感器外壳内的温度接近所述清洗液的温度。