[发明专利]一种金合金键合丝及其制造方法

权利要求书

1.一种金合金键合丝，其特征在于按重量计含有Pd 0.5-2%，Ag 15-30%，Cu 0.5-3%，Pt0.1-2%，微量添加元素Ce 2-100ppm和Ca 10-50ppm，余量为金。

2.权利要求1所述的金合金键合丝的制造方法，其特征在于包括下述步骤：

（1）熔铸：按比例将Pd、Ag、Cu、Pt和微量添加元素加入到金原料中，经过真空熔炼和定向连续引铸工艺，获得直径为6-8毫米的线材；

（2）拉丝：对步骤（1）得到的线材进行拉丝，获得直径为0.08-0.5mm的键合丝半成品；

（3）对步骤（2）得到键合丝半成品继续进行拉丝，获得直径为15-50 μm的金合金键合丝；

在拉丝过程中对键合丝半成品进行若干次中间退火，在退火过程中采用N₂做为退火气氛，退火炉有效长度为600-2000mm，退火温度为500-800℃，退火速率为30-100m/min；

（4）最后退火：步骤（3）拉丝完成后，对金合金键合丝进行最后退火，在退火过程中采用N₂来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-800℃，退火速率为60-120m/min；

（5）冷却：最后退火结束后，将金合金键合丝冷却至20-30℃，得到所需的金合金键合丝。