[发明专利]一种新型太赫兹波调制器在审
| 申请号： | 201810676918.6 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN108845437A | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 张东平;黄莹;杨宇 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518060 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 矩形金属条 开口圆环 太赫兹波调制器 触发方式 衬底层 调制层 滤波层 谐振单元阵列 规模化生产 周期性金属 衬底材料 单元阵列 动态调制 金属谐振 矩形中心 器件加工 太赫兹波 相变特性 相邻金属 谐振单元 周期单元 圆心 电磁波 调制器 透明的 顶层 环宽 滤波 容差 圆环 薄膜 调制 开口 | ||
1.一种新型太赫兹波调制器，其特征在于由衬底层(1)、调制层(2)、和具有周期性金属谐振单元阵列结构的滤波层(3)组成。所述的衬底层(1)在最底层，调制层(2)在中间，滤波层(3)在最顶层。衬底层(1)为单晶本征硅，调制层(2)厚度为20-160nm的二氧化钒材料，滤波层(3)的金属谐振单元材料为金，具有“Cl”形结构，包括“I”矩形金属条(4)和“C”形开口圆环(5)，开口圆环(5)上开口(6)开口方向远离“I”矩形金属条(4)一端。其金属谐振层厚度为50-200nm，矩形金属条(4)长70-140μm，宽10-20μm，矩形中心离圆心50-75μm。开口圆环(5)外径与矩形金属条(4)长相同，开口圆环(5)的环宽与矩形金属条(4)宽度相同，圆环上的开口(6)宽1-7μm。相邻金属谐振单元间距为130-180μm。
2.根据权利要求1所述的一种新型太赫兹波调制器，其特征在于构成该调制器的衬底(1)也可以是其他在太赫兹波下呈透明的材料，调制层(2)也可以是其他在某种外界激励下具有半导体-金属相变特性的材料，滤波层(3)的材料也可以是其他导电性能良好的金属。
3.根据权利要求1所述的一种新型太赫兹波调制器，其特征在于谐振单元开口圆环(5)的开口方向也可以根据所要调制的波长是其他任意方向。
4.根据权利要求1所述的一种新型太赫兹波调制器，其结构也可以根据需要在滤波层外增加一层或多层介质层，以对调制器进行保护。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳大学，未经深圳大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810676918.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种眼镜
- 下一篇：液晶屏测试装置及方法
