[发明专利]接触式测头及检查工具

权利要求书

1.一种接触式测头，具备：

导电性的第一柱塞；

导电性的第二柱塞；及

导电性的螺旋弹簧，配置在所述第一柱塞的外侧，对于所述第一柱塞及第二柱塞向相互分离的方向施力，

所述第一柱塞与所述第二柱塞相互滑动自如地嵌合，

所述第一柱塞具有大径部和在所述大径部的基端侧设置的小径部，

所述小径部向所述第二柱塞嵌入，

所述螺旋弹簧在所述第二柱塞侧具有密卷部，

至少在所述螺旋弹簧的压缩状态下，所述密卷部的相邻的线彼此相互紧贴并电接触，从而构成筒状导体部，

在所述螺旋弹簧的压缩状态下，所述筒状导体部与所述第一柱塞的所述大径部接触。

2.根据权利要求1所述的接触式测头，其中，

所述螺旋弹簧具有使所述密卷部的相邻的线彼此电接触的金属镀敷层，

所述密卷部构成筒状导体部。

3.根据权利要求1所述的接触式测头，其中，

所述螺旋弹簧的与所述第二柱塞抵接的一侧的端面倾斜。

4.根据权利要求1所述的接触式测头，其中，

所述第一柱塞具有在所述大径部和所述小径部之间的锥形部。

5.一种检查工具，具备：

权利要求1～4中任一项所述的接触式测头；及

以贯通状态保持所述接触式测头的绝缘树脂制的插口。