[发明专利]一种基于等离子体的物体表征检测方法及装置

权利要求书

1.一种基于等离子体的物体表征检测方法，其特征在于，包括：

从激光器输出的光首先通过一个半玻片，然后通过一个偏振片，最后再通过一个半玻片，得到任意角度的线偏振光,所得到的线偏振光通过一个全反射镜改变光路方向，最后由一个高数值孔径的物镜聚焦，在物镜焦点附近得到等离子体，将得到的等离子体作为探针；

当待测物体表面距离等离子体不同距离时，所述等离子体与所述待测物体表面相互作用，等离子体会发生不同程度的形变，根据形变后的等离子体的形状特征，推测出不同位置处物体的表面与等离子体的距离，即推测出不同位置处物体的表面与所述物镜焦点的距离，得出所述待测物体表面的轮廓，以实现对所述待测物体进行表征检测。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述等离子体为低温等离子体。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述等离子体包含带电粒子和中性粒子。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述将等离子体作为探针，包括：

将在介质环境中产生的等离子体作为探针。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述等离子体与所述待测物体表面的相互作用包括：所述等离子体的物理吸附、所述等离子体的捕获、静电力、材料表面化学反应、二次电子发射及溅射。

6.一种基于等离子体的物体表征检测装置，其特征在于，包括：探针及处理模块；其中，所述探针通过如下方式产生：从激光器输出的光首先通过一个半玻片，然后通过一个偏振片，最后再通过一个半玻片，得到任意角度的线偏振光,所得到的线偏振光通过一个全反射镜改变光路方向，最后由一个高数值孔径的物镜聚焦，在物镜焦点附近得到等离子体，将得到的等离子体作为探针；

当待测物体表面距离等离子体不同距离时，所述等离子体与所述待测物体表面相互作用，等离子体会发生不同程度的形变，所述处理模块，用于根据形变后的等离子体的形状特征，推测出不同位置处物体的表面与等离子体的距离，即推测出不同位置处物体的表面与所述物镜焦点的距离，得出所述待测物体表面的轮廓，以实现对所述待测物体进行表征检测。