[发明专利]研磨或磨削处理用载体及其制造方法、基板的制造方法

说明书

提供研磨或磨削处理用载体及其制造方法、基板的制造方法。研磨处理用载体由包括取向为至少一个方向的纤维和树脂材料的复合材料形成，并具有在由上平板和下平板夹持圆板状的基板而对所述基板的一对主表面进行研磨处理时用于保持所述基板的保持孔。所述保持孔在所述保持孔的内周壁面的周上具有以在所述保持孔保持所述基板的状态下使所述基板与所述纤维接触的方式构成的第1壁部和以在所述保持孔保持所述基板的状态下使该基板不与所述纤维接触的方式构成的第2壁部。所述第2壁部形成于所述内周壁面中的朝向包括所述一个方向的所述纤维的取向方向的部分。

本申请基于专利法实施细则第42条提出，是申请日为2014年12月1日、申请号为201480064905.3(国际申请号PCT/JP2014/081800)的发明专利申请“研磨处理用载体、研磨处理用载体的制造方法及磁盘用基板的制造方法”的分案申请。

技术领域

本发明涉及用于基板的研磨处理的研磨或磨削处理用载体及其制造方法、基板的制造方法。

背景技术

作为用作信息记录介质之一的磁盘，以往优选使用了玻璃基板。现在，随着增大硬盘驱动装置中的存储容量的需求，试图进行磁性记录的高密度化。对于这样的情况，使磁头自磁性记录面的浮动距离极短，将磁性记录信息区微型化。关于使用于这样的磁盘的玻璃基板的尺寸及形状，优选为按照目标而高精度地进行制作。

为了高精度地制作玻璃基板的尺寸及形状，对玻璃基板的表面进行磨削及研磨。在玻璃基板的磨削及研磨中使用板状的磨削用或研磨用的载体，该载体用于在磨削或研磨中保持夹在两个平板之间而被磨削或研磨的玻璃基板。在该载体中设有用于保持玻璃基板的保持孔。

以往，作为该载体，从机械强度及成本这些方面考虑，广泛使用了使玻璃纤维取向为不同的两个方向的玻璃织物中浸渍了树脂材料的树脂浸渍材料。特别是，优选使用了将在玻璃织物浸渍了环氧树脂的层层叠多层而构成的载体。但是，在该载体中，在磨削或研磨玻璃基板时，在玻璃基板的端面(外周侧壁面)有时会出现缺陷例如凹陷的伤痕。该伤痕的深度比形成于端面的其他伤痕深且长。在该伤痕的凹陷的部分附着有研磨浆料中的礳粒，并且根据伤痕而产生的玻璃芯片附着于端面而成为发生灰尘的根源。特别地，最终在研磨中使用的研磨浆料中的礳粒夹在端面与载体之间，并作为微粒子附着于凹状的伤痕内进而被紧固。这样附着的微粒子有时在玻璃基板上形成磁性层时进行的溅射中从玻璃基板的端面脱离而在主表面上通过，由此在磁性层制造缺陷。因此，上述伤痕成为在制造玻璃基板或制造磁盘时降低成品率的原因。

在这样的状況下，公知一种由构成上述载体的玻璃纤维等的纤维保护玻璃基板的载体(专利文献1)。该载体具备如下结构：在玻璃基板的保持孔的内周壁面配置多个凹部，在该内周壁面的外侧具有仅由树脂材料形成的保持孔缓冲区域和在保持孔缓冲区域的外侧由复合材料形成的保持孔强化区域。即，不会从所形成的玻璃基板的保持孔的内周壁面渗出纤维，因此能够防止在进行研磨工序時插入保持孔的玻璃基板的外周侧壁面被损伤。

并且，还公知能够防止在被研磨体的外周侧面产生由研磨用载体的保持孔的内周面和被研磨体的外周侧面的滑动而导致的伤痕的研磨用载体(专利文献2)。在该研磨用载体中，在保持孔的内周面设置与被研磨体的外周侧面接触而支承该被研磨体的多个突起，将这些突起的间隔设定为大于保持孔的内周面中的突起的周方向的宽度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-218103号公报

专利文献2：日本特开2000-288921号公报

发明内容

发明要解决的课题