[发明专利]双固定相气相色谱柱及其制备方法在审
申请号: | 201810654078.3 | 申请日: | 2018-06-22 |
公开(公告)号: | CN110624523A | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 冯飞;田博文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | B01J20/281 | 分类号: | B01J20/281;B01J20/30;B01D53/02 |
代理公司: | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 佟婷婷 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 固定相 气相色谱柱 微沟道 制备 混合气体 预设位置 真空腔体 双固定 衬底 分离能力 配置 涂覆 鉴别 制作 | ||
本发明提供一种双固定相气相色谱柱及其制备方法,制备包括:提供一衬底,于衬底中制作微沟道,微沟道具有第一端口及第二端口;将配置好的第一固定相原料自第一端口注入至微沟道的预设位置;将得到的结构置于真空腔体中,使第一固定相原料形成第一固定相;将配置好的第二固定相原料自第二端口注入至微沟道的预设位置;将得到的结构置于真空腔体中,使第二固定相原料形成第二固定相。本发明提供的双固定相气相色谱柱及其制备方法,在同一气相色谱柱上实现了两种固定相的涂覆,使得一根气相色谱柱能很好地分离两类混合气体组分,增强了气相色谱柱的分离能力,同时减少了为了分离鉴别不同种类混合气体组分时更换气相色谱柱的频率,使用起来更为方便。
技术领域
本发明属于微电子机械系统领域,特别是涉及一种双固定相气相色谱柱及其制备方法。
背景技术
气相色谱柱的主要功能是对待分析的混合样品气体进行分离,它是气相色谱仪的核心部件。传统的气相色谱柱包括毛细管柱、填充柱等。从色谱柱的制备材料来看,传统的气相色谱柱一般采用玻璃、不锈钢加工制作,目前已经广泛使用。而自上世纪70年代以来,人们开始尝试在硅片或玻璃片上通过腐蚀/刻蚀的方法制作微型气相色谱柱。
气相色谱柱的分离功能是通过待分析的混合样品气体与固定相之间的相互作用实现的。目前,使用、研究的气相色谱柱内部只制备有一种固定相,这种固定相一般是单一物质,一般而言,只能对某类气体组分进行分离,而要分离另一类气体组分时,则需要更换气相色谱柱,使用不方便。
因此,如何提供一种双固定相气相色谱柱及其制备方法,以解决现有技术中的上述技术问题实属必要。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种双固定相气相色谱柱及制备方法,用于解决现有技术中气相色谱柱只能对某类气体组分进行分离、使用不方便等问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种双固定相气相色谱柱的制备方法,包括如下步骤:
1)提供一衬底,于所述衬底中制作微沟道,所述微沟道具有第一端口及第二端口;
2)将配置好的第一固定相原料自所述第一端口注入,且注入所述第一固定相原料至所述微沟道的一预设位置;
3)将步骤2)得到的结构置于真空腔体中,以使所述第一固定相原料形成第一固定相;
4)取出步骤3)得到的结构,将配置好的第二固定相原料自所述第二端口注入,且注入所述第二固定相原料至所述微沟道的所述预设位置;以及
5)将步骤4)得到的结构置于真空腔体中,以使所述第二固定相原料形成第二固定相。
作为本发明的一种优选方案,步骤2)中,注入所述第一固定相原料至所述预设位置后密封所述第二端口,且在步骤4)取出步骤3)得到的结构后打开所述第二端口;步骤4)中,注入所述第二固定相原料至所述预设位置后密封所述第一端口,且在步骤5)之后打开所述第一端口。
作为本发明的一种优选方案,采用密封胶实现所述第一端口及所述第二端口的密封,并通过去除所述密封胶的方式打开所述第一端口及所述第二端口。
作为本发明的一种优选方案,步骤2)中,所述第一固定相原料包括聚二甲基硅氧烷溶液及聚甲基苯基硅氧烷溶液中的任意一种,步骤4)中,所述第二固定相原料包括聚二甲基硅氧烷溶液及聚甲基苯基硅氧烷溶液中的任意一种,且所述第一固定相原料与所述第二固定相原料不同。
作为本发明的一种优选方案,步骤3)中的真空腔体中的温度介于24℃-150℃之间,将步骤2)得到的结构在真空腔体中放置的时间介于24h-72h之间;步骤5)中的真空腔体中的温度介于24℃-150℃之间,将步骤4)得到的结构在真空腔体中放置的时间介于24h-72h之间。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所,未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810654078.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。