[发明专利]液体分配设备及其检验方法

说明书

提供一种液体分配设备及其检验方法，所述液体分配设备包含：载物台，基板能够安装在载物台上；板，其具有连接到载物台或安置在载物台外部的至少一部分；分配部分，其具有至少一部分以可移动方式安装在载物台和板之间以便分配液体材料；成像部分，其能够使液体材料分配到的部分成像；以及测量部分，其配置成根据通过成像部分成像的板上的液体材料的图像测量液体材料的大小，液体分配设备能够将精确数量的液体材料分配到基板上。

技术领域

本公开涉及一种液体分配设备及其检验方法，且更具体地说，涉及一种可将精确数量的液体材料分配在基板上的液体分配设备及其检验方法。

背景技术

近来，为了实现与高精度的趋势一致的每单位面积更多像素，例如一般被称为平板显示器(flat panel display,FPD)的液晶显示器(liquid crystal display,LCD)和有机发光二极管(organic light-emitting diode,OLED)等平板显示器不仅进一步微型化驱动每一像素的电路元件，还进一步微型化连接电路元件的布线宽度。此外，近来，由于例如智能手机、TV、显示屏和笔记本电脑的各种显示设备存在轻量化和小尺寸趋势，在其中集成有电路的印刷电路板(printed circuit board,PCB)上形成的导电线更为复杂且制造精细。

因而，因为在FPD、PCB等中的基板上形成的电路元件微型化且用于连接电路元件的图案线的宽度减小，所以修复出现在用于形成基板上的图案线的设备的缺陷和所形成的图案线中的缺陷变得愈来愈困难。因此，近来，使用利用电水动力学(electrohydrodynamics)的修复设备，通过这种修复设备，可形成超精细图案线并且可获得均匀线宽。使用电水动力学的修复设备在喷嘴和基板之间产生电场，以借此向其中已出现缺陷的部分分配油墨。

然而，当使用喷嘴的时间增加时，喷嘴的油墨分配部分可能会干燥。当喷嘴的分配孔口被干燥的油墨堵住时，将难以从喷嘴分配油墨。因此，相比于正常状态，从喷嘴分配的油墨数量减少，且因此，存在无法按所要面积大小分配油墨及修复过程的精度下降的问题。

[现有技术文件]

[专利文件1]KR 10-2015-0049992 A

发明内容

本公开提供一种液体分配设备及其检验方法，其中可易于检验用于分配液体材料的分配部分的状态。

本公开还公开一种可将精确数量的液体材料分配在基板上的液体分配设备及其检验方法。

根据示例性实施例，液体分配设备包含：载物台，在所述载物台上安装基板；板，其具有连接到载物台或安置在载物台外部的至少一部分；分配部分，其具有至少一部分以可移动方式安装在载物台和板之间以便分配液体材料；成像部分，其配置成使液体材料分配到的部分成像；以及测量部分，其配置成根据通过成像部分成像的板上的液体材料的图像测量液体材料的大小。

可在板的一个表面上显示多个测量单元，且分配部分可将液体材料分配到测量单元中。

测量部分可包含：处理器，其配置成对板上的液体材料的图像进行预处理；以及测量仪器，其配置成将测量单元的内部分成多个像素并测量液体材料在测量单元中占据的像素数目。

液体分配设备可进一步包含控制单元，所述控制单元连接到测量部分且配置成控制分配部分的操作。

控制单元可包含：比较器，其配置成比较测量仪器所测量的像素数目与预设设定范围；以及控制器，其配置成在所测量像素数目不在设定范围内时增加或减少分配部分所分配的液体材料的数量。

分配部分可包含喷嘴，所述喷嘴配置成通过使用压力和电压中的至少任一个来分配液体材料，并且控制器可调整施加到喷嘴的压力和电压中的至少任一个的量值。

液体分配设备可包含修复设备，所述修复设备配置成修复基板上的图案的缺陷。