[发明专利]一种基于硅材料测试仪的硅材料快速分拣方法在审
申请号: | 201810648920.2 | 申请日: | 2018-06-22 |
公开(公告)号: | CN108807234A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 王韶平 | 申请(专利权)人: | 安徽舟港新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66 |
代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
地址: | 246500 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅材料 检测区域 电阻率 分拣 预设 传送 测试 分拣效率 人为失误 出口 自动化 检测 | ||
本发明公开了一种基于硅材料测试仪的硅材料快速分拣方法,包括:将硅材料传送至检测区域;检测检测区域内的硅材料的类型和电阻率,所述类型包括P型、N型;将检测区域内的硅材料的电阻率与电阻率阈值进行比较,根据比较结果及检测区域内的硅材料的类型为P型或N型,将检测区域的硅材料传送至预设出口。如此,同时获取硅材料的类型和电阻率,并按照预设型号和电阻率的要求,将硅材料输送到不同出口进行区别分拣,提高硅材料的分拣效率,同时,提高分拣的自动化,避免人为失误造成的误差。
技术领域
本发明涉及硅材料检测技术领域,尤其涉及一种基于硅材料测试仪的硅材料快速分拣方法。
背景技术
纯净的硅更像是绝缘体,而不是导体,当它被施加外部作用时(比如外加电压),没有能力改变其导电状态。所以必须往硅里面掺杂其它的元素,现在最重要的两个元素是----硼B和磷P。当硅片被掺入硼或磷时,它的导电性就显著的改变了。把磷加入到硅晶片中后,掺入磷杂质的硅称为N型硅,把硼加入到硅晶片中后,掺入磷杂质的硅称为P型硅。
目前,区分硅材料为N型硅或P型硅,是通过人工使用检测仪依次对硅材料进行检测,但是这种方式效率太低、人工读取数据容易出现失误,对于半导体材料厂、硅厂商及科研位等,需要一种适用于硅材料的快速分选方法,以快速对硅材料按照要求进行分拣。
发明内容
基于背景技术存在的技术问题,本发明提出了一种基于硅材料测试仪的硅材料快速分拣方法;
本发明提出的一种基于硅材料测试仪的硅材料快速分拣方法,包括:
S1、将硅材料传送至检测区域;
S2、检测检测区域内的硅材料的类型和电阻率,所述类型包括P型、N型;
S3、将检测区域内的硅材料的电阻率与电阻率阈值进行比较,根据比较结果及检测区域内的硅材料的类型为P型或N型,将检测区域的硅材料传送至预设出口。
优选地,步骤S3,具体包括:
在硅材料为P型且电阻率低于电阻率阈值时,将硅材料传送至第一出口;
在硅材料为P型且电阻率不低于电阻率阈值时,将硅材料传送至第二出口;
在硅材料为N型且电阻率低于电阻率阈值时,将硅材料传送至第三出口;
在硅材料为N型且电阻率不低于电阻率阈值时,将硅材料传送至第四出口。
优选地,步骤S3中,所述电阻率阈值可由用户编辑。
优选地,步骤S2中,在检测检测区域内的硅材料的类型和电阻率过程中,还包括:将检测区域内相对湿度保持在预设范围内。
优选地,步骤S2中,在检测检测区域内的硅材料的类型和电阻率过程中,还包括:对检测区域进行电磁屏蔽。
本发明将硅材料传送至检测区域,检测检测区域内的硅材料的类型和电阻率,所述类型包括P型、N型,将检测区域内的硅材料的电阻率与电阻率阈值进行比较,根据比较结果及检测区域内的硅材料的类型为P型或N型,将检测区域的硅材料传送至预设出口,如此,同时获取硅材料的类型和电阻率,并按照预设型号和电阻率的要求,将硅材料输送到不同出口进行区别分拣,提高硅材料的分拣效率,同时,提高分拣的自动化,避免人为失误造成的误差。
附图说明
图1为本发明提出的一种基于硅材料测试仪的硅材料快速分拣方法的流程示意图。
具体实施方式
参照图1,本发明提出的一种基于硅材料测试仪的硅材料快速分拣方法,包括:
步骤S1,将硅材料传送至检测区域。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造