[发明专利]微波装置

权利要求书

1.一种微波装置，其特征在于，包括：

一第一基板，具有一第一表面；

一第一金属层，该第一金属层设置于该第一表面上，且该第一金属层包含多个开口；

一第二基板，具有一第二表面，且与该第一基板对应设置，其中该第二表面邻近该第一表面；

一第二金属层，该第二金属层设置于该第二表面上，该第二金属层包含多个电极，该多个电极对应该多个开口设置；

一密封壁，位于该第一基板以及该第二基板之间，且该密封壁、该第一基板与该第二基板之间形成一有源区；以及

一调制材料，填充于该有源区内；以及

至少一填充材，设置于该有源区内，其中，该填充材的厚度大于0.3微米且小于该密封壁的高度，且该填充材于该第一表面的投影面积与该有源区于该第一表面的投影面积的比值介于0.02到0.83之间；

其中，该有源区包括多个调制区以及多个泄漏区，该多个调制区为该多个电极与该第一金属层重叠的区域，且该多个泄漏区为该多个开口于一叠置方向上所对应的区域，其中，该填充材不设置于该多个调制区内以及该多个泄漏区内。

2.如权利要求1所述的微波装置，还包含：

一第一保护层及一第一配向层依序设置于该第一金属层上；

一第二保护层及一第二配向层依序设置于该第二金属层上，

其中该填充材与该第一配向层及该第二配向层至少其中之一连接。

3.如权利要求1所述的微波装置，更包含一第一保护层设置于该第一金属层上，以及一第二保护层设置于该第二金属层上，至少部分该填充材设置于该第一保护层与该第一金属层之间，或该第二保护层与该第二金属层之间。

4.如权利要求1所述的微波装置，其特征在于，该填充材的材料包含氮化硅、单一或复合有机材料、玻璃胶、聚乙烯对苯二甲酸酯、聚酰亚胺、聚醚、聚酯薄膜、聚乙烯、聚碳酸酯、压克力、聚酸甲酯或是其组合。

5.如权利要求1所述的微波装置，更包含：

一第一电路层，设置在第二表面上；

一第二电路层，设置在该第一电路层上；

一第一绝缘层，设置在该第一电路层与该第二电路层之间；

一第二保护层，设置在该第一绝缘层上；以及

一第二绝缘层，设置在该第二保护层与该第一绝缘层之间，

其中该填充材的厚度大于该第二保护层、该第一绝缘层与该第二绝缘层的厚度总和。

6.如权利要求1所述的微波装置，其特征在于，该填充材包括多个间隙结构及多个突出部，设置于该有源区内，且位于该第一基板与该第二基板之间，该有源区还包括一非工作区，该非工作区为该有源区内扣除该多个调制区、该多个泄漏区及该多个间隙结构的部分；

其中，每一该多个泄漏区包含一第一区与至少一第二区，该第一区为该多个开口的一与对应的该多个电极的一重叠的部分，该第二区为该多个开口的一与对应的该多个电极的一不重叠的部分；以及

其中，该多个第一区的投影面积为a41，该多个第二区的投影面积为a42，该多个调制区的投影面积为a3，该非工作区的投影面积为a5，该多个第一区的间距为d11，该多个第二区的间距为d12，该多个调制区的间距为d3，该多个突出部设置于该非工作区中，该非工作区的最小间距d5位于下列公式范围内