[发明专利]一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉

权利要求书

1.一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀，包括翻板、翻转轴、连接翻转轴及翻板的连接板；所述翻转轴包括轴套、插设在轴套一端第一轴体、插设在轴套另一端的第二轴体，第一轴体、第二轴体与轴套同轴设置；其特征在于：所述翻板中央位置设有向上凸出的一对座体，该座体之间横向设有转轴，所述连接板的一端固定连接于轴套上而连接板的另一端通过转轴与座体铰接；所述翻板内设有若干相互连通的水道，且该水道的进口与出口位于翻板的上表面靠近轴套的位置；还设置连通该水道进口的进水管、连通该水道出口的排水管；

所述第一轴体设有进水通道，该进水通道的一端贯通该第一轴体的外端，该进水通道的另一端连接所述进水管并通过进水管与水道进口连通；

所述第二轴体设有排水通道，该排水通道的一端贯通该第二轴体的外端，该排水通道的另一端连接所述排水管并通过排水管与水道出口连通；

所述进水管包括进水引管及进水弯管，所述进水弯管在翻板上方弯曲延伸，且进水弯管的一端连接进水引管而另一端连通水道进口，所述进水引管一端连接进水弯管而另一端连通进水通道；

所述排水管包括排水引管及排水弯管，所述排水弯管在翻板上方弯曲延伸，且排水弯管的一端连接排水引管而另一端连通水道出口，所述排水引管一端连接排水弯管而另一端连通排水通道。

2.根据权利要求1所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：所述进水弯管为圆弧状，所述排水弯管也为圆弧状，且进水弯管在排水弯管的外侧延伸。

3.根据权利要求1或2所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：所述进水弯管围成类圆形，排水弯管同样围成类圆形，且排水引管位于进水弯管与水道进口连接处及进水弯管与进水引管的连接处之间。

4.根据权利要求3所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：所述进水引管、进水弯管、排水引管、排水弯管均为金属管。

5.根据权利要求4所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：所述排水引管比进水引管长。

6.根据权利要求1所述的用于半导体硅单晶炉的翻板阀，其特征在于：向第一轴体的进水通道注入冷却水，冷却水依次经过进水通道、进水引管、进水弯管、水道、排水弯管、排水引管、排水通道。

7.一种包含如权利要求1-6中任一项所述翻板阀的单晶炉，其特征在于：还包括冷却水源，该冷却水源连接所述第一轴体的进水通道。