[发明专利]基于灰度处理的微结构纹理刻画方法有效
| 申请号: | 201810631235.9 | 申请日: | 2018-06-19 |
| 公开(公告)号: | CN109001959B | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
| 发明(设计)人: | 丰立昱;姚俊俊;孙浩 | 申请(专利权)人: | 广东彩辰光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 程开生 |
| 地址: | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 灰度 处理 微结构 纹理 刻画 方法 | ||
1.一种基于灰度处理的微结构纹理刻画方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)确定微结构的最大顶角αmax和最小顶角αmin;
(2)输入一副灰度图像;
(3)根据灰度图像的像素灰度值计算微结构的顶角,按照如下公式进行计算:
αc=g*(αmax-αmin)/gmax+αmin;
其中,αc为微结构的顶角,g为当前像素的灰度值,αmax为微结构的最大顶角,αmin为微结构的最小顶角,gmax为灰度的最大值;
(4)确定微结构的底面尺寸:确定所需要的图像分辨率,根据该图像分辨率下像素的大小,确定微结构的底面尺寸;
(5)采用曝光显影的方法在光刻胶板上刻画呈凹陷的步骤(4)和步骤(3)所确定的微结构的纹理。
2.如权利要求1所述的基于灰度处理的微结构纹理刻画方法,其特征在于,所述的微结构为棱锥或圆锥;当微结构为棱锥时,所述的顶角为相对侧面经过顶点朝向底面的夹角;当微结构为棱锥时,像素的大小为棱锥底面的边长;当微结构为圆锥时,像素的大小为圆锥底面的直径。
3.如权利要求1所述的基于灰度处理的微结构纹理刻画方法,其特征在于,步骤(1)中确定微结构的最大顶角αmax和最小顶角αmin的方法为,首先确定亮度范围,即确定最大亮度值和最小亮度值;再排列相同微结构,改变微结构的顶角使得亮度值达到最大亮度值或最小亮度值,所对应的最大角度为最大顶角αmax,所对应的最小角度为最小顶角αmin。
4.如权利要求1所述的基于灰度处理的微结构纹理刻画方法,其特征在于,步骤(2)和(3)中,灰度图像采用256阶灰度,gmax为255。
5.如权利要求1所述的基于灰度处理的微结构纹理刻画方法,其特征在于,步骤(4)中,所确定的图像分辨率为500-1000dpi。
6.如权利要求1所述的基于灰度处理的微结构纹理刻画方法,其特征在于,所述的光刻胶板为表面涂有感光胶层的玻璃板。
7.如权利要求1至6任一项所述的基于灰度处理的微结构纹理刻画方法,其特征在于,所述的最大顶角αmax为160°,最小顶角αmin为120°。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东彩辰光电科技有限公司,未经广东彩辰光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810631235.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。





