[发明专利]一种利用低频交变磁场超精密磁力研磨装置及方法

权利要求书

1.一种利用低频交变磁场超精密磁力研磨装置，其特征在于，包括机架、X轴进给装置、Y轴进给装置、Z轴进给夹具台架、交变磁场抛光装置，所述X轴进给装置安装在机架平台上，Y轴进给装置横向设置在X轴进给装置上，交变磁场抛光装置安装在Y轴进给装置上，所述Z轴进给夹具台架包括纵向设置的导轨、在导柱上上下滑动的夹具滑台，所述夹具滑台置于交变磁场抛光装置的上方；所述交变磁场抛光装置包括电机、线圈筒、线圈、主轴、研磨液托盘、开槽磁极，所述主轴设置在线圈筒的内部，所述线圈缠绕在线圈筒外部，所述电机与主轴传动连接，所述开槽磁极安装在主轴的上端，所述研磨液托盘安装在开槽磁极的上端。

2.根据权利要求1所述的一种利用低频交变磁场超精密磁力研磨装置，其特征在于，所述X轴进给装置包括步进电机、直线滑轨、滑块、丝杠，所述步进电机驱动丝杠旋转，所述丝杠上螺接丝杠螺母，所述滑块在丝杠螺母的带动下在直线滑轨上滑动。

3.根据权利要求1所述的一种利用低频交变磁场超精密磁力研磨装置，其特征在于，所述X轴进给装置包括步进电机、直线滑轨、滑块、丝杠，所述步进电机驱动丝杠旋转，所述丝杠上螺接丝杠螺母，所述滑块在丝杠螺母的带动下在直线滑轨上滑动。

4.一种采用如权利要求1所述的磁力研磨装置进行超精密磁力研磨的方法，其特征在于，具体方法如下：

1)将由研磨液、磁性粒子及磨料颗粒构成的磁性磨粒浆装入研磨液托盘；

2)将工件固定在夹具滑台上，调整夹具滑台高度，使工件置于研磨液托盘上端；

3)向线圈通入低频交流电，低频交变磁场频率为1Hz-7Hz，磁性磨粒浆在研磨液托盘中形成周期性振动的磁性粒子簇，启动电机利用磁性粒子簇对工件进行研磨抛光；

4)当磁场力向上时，磁性粒子簇在磁场力的作用下呈收缩状，磁性粒子将磨料颗粒浮托于上方对工件进行研磨；当磁场力向下时，磁性粒子簇在磁场力的作用下呈发散状，磁性粒子与磨料颗粒重新混合；持续的上下波动提高磨料自搅拌效率，提高磨料颗粒的利用率并防止磁性粒子簇发生凝聚。

5.根据权利要求4所述的一种磁力研磨装置进行超精密磁力研磨的方法，其特征在于，所述磁性磨粒浆的配比为研磨液：磁性粒子：磨料颗粒＝1～3：12～18：3～8。

6.根据权利要求5所述的一种磁力研磨装置进行超精密磁力研磨的方法，其特征在于，所述研磨液为油基研磨液。