[发明专利]一种适用于扫描电子显微镜的多直径有孔刀片检测夹具

权利要求书

1.一种适用于扫描电子显微镜的多直径有孔刀片检测夹具，其组成包括夹具固定部件、锥形刀片固定部件、弹簧夹紧部件，其特征是锥形刀片固定部件可以在夹具固定部件上实现360度旋转，并可以检测多种直径的刀片，利用弹簧的弹力将有孔刀片夹在锥形刀片固定部件上，其特征是安装方便，性能稳定，易于调整刀具角度。

2.根据权利要求1所述的一种适用于扫描电子显微镜的多直径有孔刀片检测夹具，其夹具固定部件总体为U形长方体，材料为45号钢,在顶面有四个直径为7mm，深16mm的孔，侧面有6个直径为7mm，深12mm的孔；刀片固定部件总体由三个锥形刀片固定部件和三个弹簧夹紧部件组成，锥形刀片固定部件底部为一个直径为7mm，长为16mm的圆柱，该圆柱用来将锥形刀片固定部件快速安装到夹具固定部件上，弹簧夹紧部件材料为铝合金，由夹紧部件、垫圈、弹簧组成，长度为42mm，弹簧有效长度为16mm。

3.根据权利要求1所述的一种适用于扫描电子显微镜的多直径有孔刀片检测夹具，其特征是夹具可以快速固定多种直径的有孔刀片，适用刀片的直径范围大，实现减少为固定刀片涂抹粘结剂的步骤，且性能稳定，易于调整刀具角度。

4.根据权利要求1所述的一种适用于扫描电子显微镜的多直径有孔刀片检测夹具，其特征是在顶面有四个直径为7mm，深16mm的孔，侧面有6个直径为7mm，深12mm的孔，当需要对前刀面和后刀面进行检测时，可以将刀具固定部件安装到上述孔内，实现前刀面和后刀面检测的快速转换。

5.根据权利要求1中所述的一种适用于扫描电子显微镜的多直径有孔刀片检测夹具，其特征是在夹具固定部件底部有一个固定端，可实现夹具与扫描电子显微镜的快速装夹，且十分牢固。