[发明专利]一种阳极螺纹孔的机械加工工艺

说明书

本发明一种阳极螺纹孔的机械加工工艺，步骤如下：(1)机械加工刀具的选择；(2)加工过程中：DOE参数的设计；(3)在相同的阳极参数下，检测阳极后零件的通止；(4)根据合格的参数，配做螺纹孔的检具。所述第(1)步骤中刀具选择，选用螺纹铣刀，而非传统的丝锥。所述第(2)步骤中DOE参数的确认，根据图纸要求以螺纹孔.164‑32UNC‑2B为例，设计五组实验，螺纹铣刀加工时单边补正量分别为0.04mm,0.05mm，0.06mm，0.07mm，0.08mm，0.09mm。本发明通过合理的刀具选择，达到阳极氧化前非标螺纹孔的加工要求。合理的DOE加工参数，得出阳极氧化在螺纹孔上的长膜规律，从而确立机床加工的尺寸要求。

技术领域

本发明属于半导体零部件领域的机械加工工艺，具体说是一种阳极螺纹孔的精密加工技术，适用于半导体领域的带有阳极螺纹孔的所有零部件。

背景技术

随着半导体领域的快速发展，对基础零部件的技术要求越来越高，作为半导体领域的零部件，对螺纹孔的要求已经不仅局限于安装使用，更多考虑的是螺纹底孔的耐磨性、耐热性、耐腐蚀性以及绝缘性等。由于螺纹孔螺牙本身较尖锐，在阳极氧化过程中，不仅有阳极膜的生成，同时也对螺牙的尖边有一定放电腐蚀产生，所以对于阳极前的螺纹孔尺寸，无法给出理论加工尺寸，只有通过DOE实验，结合阳极氧化制程得出合理的加工参数。

发明内容

针对上述存在的问题，为了达到阳极螺纹孔的技术要求，运用常用的卧室加工中心，通过螺纹铣刀的使用，结合不同的加工补正量，基于0250-39693的阳极氧化规范，得到满足使用要求的阳极螺纹孔，解决了螺纹孔阳极氧化后通规不过无法使用的问题，通过制作非标检具，实现稳定生产。本发明的目的是提供了一种阳极螺纹孔的机械加工工艺。

本发明是通过如下方案实现的：

一种阳极螺纹孔的机械加工工艺，步骤如下：

(1)机械加工刀具的选择；

(2)加工过程中：DOE参数的设计；

(3)在相同的阳极参数下，检测阳极后零件的通止；

(4)根据合格的参数，配做螺纹孔的检具。

所述第(1)步骤中刀具选择，选用螺纹铣刀，而非传统的丝锥。

所述第(2)步骤中DOE参数的确认，根据图纸要求以螺纹孔.164-32UNC-2B为例，设计五组实验，螺纹铣刀加工时单边补正量分别为0.04mm,0.05mm，0.06mm，0.07mm，0.08mm，0.09mm；

所述第(3)步骤中相同阳极参数，根据美国应用材料阳极氧化规范0250-39693，Type III,class I,对试片阳极之后，检测出合格的螺纹孔。

所述第(4)步骤中合格的参数，使用数控车床配做出非标的螺纹孔检测塞规。

本发明的有益效果是：

1.通过合理的刀具选择，达到阳极氧化前非标螺纹孔的加工要求。

2.合理的DOE加工参数，得出阳极氧化在螺纹孔上的长膜规律，从而确立机床加工的尺寸要求。

3.通过实验确立的加工尺寸参数，配做出非标的塞规检具，确立机床加工的检测标准，实现稳定量产。

具体实施方案

一种阳极螺纹孔的机械加工工艺，步骤如下：

(1)机械加工刀具的选择；

(2)加工过程中：DOE参数的设计；

(3)在相同的阳极参数下，检测阳极后零件的通止；

(4)根据合格的参数，配做螺纹孔的检具。