[发明专利]自动化点源透过率杂散光测试系统及方法有效
申请号: | 201810603452.7 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN108982061B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 汪洪源;刘祥;康文;颜志强;王秉文;郭雨桐;武少冲 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 毕雅凤 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动化 透过 散光 测试 系统 方法 | ||
1.自动化点源透过率杂散光测试方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
步骤一、打开脉冲激光器(1),等待脉冲激光器(1)稳定;
步骤二、定位待测光学系统(11),使平行光管(3)出射的平行光充满待测光学系统(11)入口,并使得待测光学系统(11)的中心位于旋转台(6)的旋转中心;
步骤三、第一探测系统(4)对待测光学系统(11)入瞳处的辐照度进行测量,信号采集系统(8)采集测量结果;
步骤四、计算机(9)控制平移机构(5)将第一探测系统(4)移开,直至不再阻挡平行光管(3)出射的激光;
步骤五、计算机(9)控制第二光学衰减装置的衰减倍数初始化为最大等级;
步骤六、计算机(9)控制旋转台(6)转动到最大离轴角度;
步骤七、第二探测系统(7)对焦面处的辐照度进行测量,信号采集系统(8)采集测量结果;
步骤八、计算机(9)判断信号采集系统(8)采集的测量结果是否达到阈值,如果判断结果为是则计算机(9)记录测量结果,否则计算机(9)控制第二光学衰减装置的衰减倍数减小一个等级并返回步骤七;
步骤九、计算机(9)控制旋转台(6)按设定规则转动到下一个离轴角度;
步骤十、重复步骤七至步骤九,计算机(9)根据测量结果计算不同离轴角度下的点源透过率;
步骤十一、绘制不同离轴角度下的点源透过率曲线,根据该曲线评价待测光学系统(11)的杂散光抑制能力;
该方法基于自动化点源透过率杂散光测试系统实现;
自动化点源透过率杂散光测试系统,包括脉冲激光器(1)、光束整形器(2)、平行光管(3)、第一探测系统(4)、平移机构(5)、旋转台(6)、第二探测系统(7)、信号采集系统(8)、计算机(9)和暗室(10);
脉冲激光器(1)出射的激光经光束整形器(2)整形后入射至平行光管(3),激光经平行光管(3)准直后入射至旋转台(6)上的待测光学系统(11);
第一探测系统(4)位于待测光学系统(11)的入瞳处,且固定在平移机构(5)上;第二探测系统(7)位于待测光学系统(11)的焦面处,且位于旋转台(6)上;第一探测系统(4)和第二探测系统(7)均用于测量辐照度,信号采集系统(8)采集测量结果并将测量结果发送给计算机(9);
计算机(9),用于接收测量结果并计算点源透过率;还用于控制平移机构(5)、旋转台(6)和信号采集系统(8)实现点源透过率的自动化测量;
第一探测系统(4)、平移机构(5)、旋转台(6)、第二探测系统(7)、信号采集系统(8)和待测光学系统(11)均位于暗室(10)内;
自动化点源透过率杂散光测试系统,还包括第一光学衰减装置和第二光学衰减装置;
平行光管(3)出射的激光经第一光学衰减装置后入射至第一探测系统(4),第一光学衰减装置与第一探测系统(4)固定连接;待测光学系统(11)出射的杂散光经第二光学衰减装置入射至第二探测系统(7),第二光学衰减装置与第二探测系统(7)固定连接。
2.根据权利要求1所述的自动化点源透过率杂散光测试方法,其特征在于,步骤九所述的设定规则具体为:旋转台(6)由正向最大离轴角度开始转起,按照设定的步幅逐渐减小离轴角度,直至达到正向最小离轴角度,再由反向最大离轴角度开始转起,按照设定的步幅逐渐减小离轴角度,直至达到反向最小离轴角度。
3.根据权利要求1所述的自动化点源透过率杂散光测试方法,其特征在于,第二光学衰减装置的衰减倍数可变。
4.根据权利要求3所述的自动化点源透过率杂散光测试方法,其特征在于,计算机控制平移机构(5)、旋转台(6)和信号采集系统(8)实现点源透过率的自动化测量,具体为:
用户在计算机(9)界面设定测量模式,当为入口照度测量模式时,计算机(9)控制平移机构(5)将第一探测系统(4)放置在待测光学系统(11)的入瞳处,待测光学系统(11)对入瞳处的辐照度进行测量,计算机(9)还控制信号采集系统(8)采集测量结果;当为焦面照度测量模式时,计算机(9)控制平移机构(5)将第一探测系统(4)移开,直至不再阻挡平行光管(3)出射的激光,计算机(9)还控制旋转台(6)转动,第二探测系统(7)对焦面处的辐照度进行测量,计算机(9)控制信号采集系统(8)采集测量结果。
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