[发明专利]太阳能级硅片切削液及硅片生产方法在审
申请号: | 201810602917.7 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN108865387A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 吴勇;刘传君;于钦战;高国磊 | 申请(专利权)人: | 山东大海新能源发展有限公司 |
主分类号: | C10M173/00 | 分类号: | C10M173/00;B28D5/04;C10N30/04;C10N30/06 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 王宽 |
地址: | 257300 山东省东营市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切削液 太阳能级硅片 二甘醇 硅片 磨料 硅片表面损伤 硅片少子寿命 油酸二乙醇胺 硅片成品率 螯合剂EDTA 分散效果 辅助试剂 钢线表面 聚乙二醇 切割效率 三乙醇胺 悬浮颗粒 优化配置 断线率 分散剂 润滑剂 碳化硅 线切割 重量份 附着 钢线 硅粉 磨损 生产 申请 | ||
1.一种太阳能级硅片切削液,由以重量份数计的如下组分组成:聚乙二醇30—50份、二甘醇8—15份、三乙醇胺3—5份、油酸二乙醇胺15—20份、EDTA 4—6份和水10—30份。
2.如权利要求1所述的硅片切削液,其特征在于:由以重量份数计的如下组分组成:聚乙二醇40份、二甘醇10份、三乙醇胺4份、油酸二乙醇胺17.5份、EDTA 5份和水23.5份。
3.如权利要求1所述的硅片切削液,其特征在于:由以重量份数计的如下组分组成:聚乙二醇30份、二甘醇15份、三乙醇胺5份、油酸二乙醇胺20份、EDTA 4份和水26份。
4.如权利要求1所述的硅片切削液,其特征在于:由以重量份数计的如下组分组成:聚乙二醇50份、二甘醇8份、三乙醇胺3份、油酸二乙醇胺15份、EDTA 6份和水18份。
5.如权利要求1—4中任一所述的硅片切削液,其特征在于:所述水为去离子水。
6.权利要求1—5中任一所述硅片切削液在太阳能级硅片生产中的应用。
7.一种太阳能级硅片生产方法,包括:使用钢线对硅料进行切割,所述切割使用砂浆进行,最后获得太阳能级伏硅片,其中,所述砂浆包括权利要求1—5中任一所述切削液和碳化硅,所述切削液与所述碳化硅的重量配比为1:1。
8.如权利要求7所述方法,其特征在于:所述切割为单向切割,所述切割时所述钢线的线速为800—1000m/min。
9.如权利要求7或8所述方法,其特征在于:所述切割时所述钢线的张力为14—18N。
10.如权利要求7—9中任一所述的方法,其特征在于:所述切割的温度控制在20—30℃;所述切割使用的仪器为NTC PV1000。
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