[发明专利]含铬废液处理工艺

说明书

本发明公开了一种含铬废液处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：(1)收集含铬废液进行预处理，用于调节含铬废液水质和水量，使得含铬废液能均匀进入反应槽；(2)在反应槽中进行中和和还原，添加碱性药液调节废液PH至中性，添加还原剂将废液中的强氧化性化学品还原成非氧化物；(3)蒸发分离，将经过步骤(2)反应后的废液进行加热蒸发，所得蒸汽排至降温池排放，收集剩下的浓缩液和固体即可。本发明所述含铬废液处理工艺先通过酸碱值(pH)及氧化还原电位(ORP)在线分析仪控制碱性药剂及还原剂加药量，去除蚀刻废液中强氧化性化学品，再进行蒸发分离，减少处理过程中火灾爆炸危险，可达到废水重金属零排放目的。

技术领域

本发明属于废液处理技术领域，尤其涉及一种含铬废液处理工艺。

背景技术

光掩膜制造流程中湿法蚀刻主要用于去除传统型光掩膜版上的铬膜层，因此会产生含铬废液，蚀刻液主要含有硝酸铵铈Ce(NH4)2(NO3)6、过氯酸HClO4、硝酸HNO3，Cr的湿法蚀刻过程反应方程式为：

3Ce(NH4)2(NO3)6+Cr→Cr(NO3)3+3Ce(NH4)2(NO3)5

目前业界常用废水处理技术处理后放流水虽然可符合国家标准-污水综合排放标准(GB 8978–1996)中总铬<1.5mg/L及六价铬<0.5mg/L，但无法达到重金属零排放的地方环保要求，因此目前多采蒸发分离法处理，但因废液中有强氧化性化学品如过氯酸HClO4、硝酸HNO3，若未将含铬废液中强氧化性化学品去除，直接进行蒸发分离处理，会有火灾爆炸危险。

发明内容

本发明的目的是提供在于提出一种含铬废液处理工艺，利用加入碱性药剂及还原剂做为废水前处理流程，形成非氧化性化学品，再进行蒸发分离，减少处理过程中火灾爆炸的危险。

为实现上述发明目的，本发明的技术方案如下：

一种含铬废液处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：

(1)收集含铬废液进行预处理，用于调节含铬废液水质和水量，使得含铬废液能均匀进入反应槽；

(2)在反应槽中进行中和和还原，添加碱性药液调节废液PH至中性，添加还原剂将废液中的强氧化性化学品还原成非氧化物；

(3)蒸发分离，将经过步骤(2)反应后的废液进行加热蒸发，所得蒸汽排至降温池排放，收集剩下的浓缩液和固体即可。收集后的浓缩液和固体可以委托合格处理商进一步处理。

进一步的，所述步骤(1)通过废液调节槽来收集废液，所述废液调节槽的容积大于废液每小时平均流量乘以8小时的总量，所述废液调节槽内设置搅拌机用来搅拌废液。

进一步的，所述步骤(2)通过设置PH值测定仪实时监测废液PH值来调节碱性药液的添加量，直至调节PH值至7～8。

进一步的，所述步骤(2)中通过设置氧化还原电位分析仪控制还原剂的添加量，直至废液的氧化还原电位值至0以下。

进一步的，所述步骤(2)中还原剂的添加速度不超过100ppm/min。

进一步的，所述步骤(3)当加热温度大于70℃时，对蒸发器内废液蒸发时产生的水蒸气进行抽气排放。蒸发器抽气使内部压力降低，当内部压力小于30KPa，加热温度大于70℃时，蒸发器内废液会蒸发产生水蒸气。

有益效果：

本发明所述含铬废液处理工艺先通过酸碱值(pH)及氧化还原电位(ORP)在线分析仪控制碱性药剂及还原剂加药量，去除蚀刻废液中强氧化性化学品，再进行蒸发分离，减少处理过程中火灾爆炸危险，可达到废水重金属零排放目的。

附图说明

图1为本发明所述含铬废液处理工艺示意图；