[发明专利]电极蒸镀装置

权利要求书

1.一种电极蒸镀装置，其特征在于，包括：支撑台(100)，用于固定支撑带有样品(700)的样品托(500)；

第一限位件(200),固定于所述支撑台(100)的一侧；

掩膜架(300)，滑设于所述第一限位件(200)，所述掩膜架(300)用于装载掩膜(800)；

第一弹性件，设置于所述第一限位件(200)和所述掩膜架(300)之间，所述第一弹性件利用自身的弹性恢复力将所述掩膜架(300)朝靠近所述支撑台(100)的方向推动；以及

第二限位件(400)，滑设于所述支撑台(100)，所述第二限位件(400)与所述第一限位件(200)分别位于所述支撑台(100)的两侧；

利用传样抓手(600)对所述第二限位件(400)施加外力，所述第二限位件(400)在所述外力的作用下，将所述掩膜架(300)朝远离所述支撑台(100)的方向推动；当所述外力撤除时，所述第一弹性件将所述掩膜架(300)向所述支撑台(100)的方向推动，以使所述掩膜(800)与所述样品(700)接触。

2.根据权利要求1所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述第一限位件(200)包括第一限位杆(210)，所述第一限位杆(210)的一端固定于所述支撑台(100)；

所述掩膜架(300)设置有用于供所述第一限位杆(210)穿过的第一限位孔；

所述第一弹性件为螺旋弹簧，所述第一弹性件套设于所述第一限位杆(210)，所述第一弹性件的一端与所述第一限位杆(210)远离所述支撑台(100)的一端连接，所述第一弹性件的另一端与所述掩膜架(300)抵接。

3.根据权利要求2所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述第一限位件(200)还包括第一限位凸起(220)，所述第一限位凸起(220)连接于所述第一限位杆(210)远离所述支撑台(100)的一端；所述第一弹性件的一端与所述掩膜架(300)抵接，所述第一弹性件的另一端与所述第一限位凸起(220)抵接。

4.根据权利要求2所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述第一限位杆(210)为多个，多个所述第一限位杆(210)均匀布置于所述支撑台(100)。

5.根据权利要求1所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述第二限位件(400)包括环形架(410)和第二限位杆(420)，所述第二限位杆(420)的一端与所述环形架(410)连接，所述第二限位杆(420)的另一端穿设于所述支撑台(100)且与所述掩膜架(300)抵接；

所述支撑台(100)设置有用于滑设所述第二限位杆(420)的第二限位孔。

6.根据权利要求5所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述第二限位件(400)还包括第二限位凸起(430)，所述第二限位凸起(430)连接于所述第二限位杆(420)远离所述环形架(410)的一端；

所述第二限位凸起(430)与所述环形架(410)分别位于所述支撑台(100)的两侧。

7.根据权利要求5所述的电极蒸镀装置，其特征在于，还包括：

第二弹性件，设置于所述第二限位件(400)与所述支撑台(100)之间，所述第二弹性件利用自身的弹性恢复力将所述第二限位件(400)朝远离所述支撑台(100)的方向推动。

8.根据权利要求6所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述第二弹性件为螺旋弹簧，所述第二弹性件套设于所述第二限位杆(420)，所述第二弹性件的一端与所述支撑台(100)抵接，所述第二弹性件另一端与所述环形架(410)抵接。

9.根据权利要求5所述的电极蒸镀装置，其特征在于，所述第二限位杆(420)为多个，多个所述第二限位杆(420)均匀布置于所述环形架(410)。